[實用新型]一種12管高產能PECVD設備有效
| 申請號： | 201822156366.4 | 申請日： | 2018-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN209537623U | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | 崔慧敏;林罡;王鵬 | 申請（專利權）人： | 無錫華源晶電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/513 | 分類號： | C23C16/513 |
| 代理公司： | 無錫嘉馳知識產權代理事務所(普通合伙) 32388 | 代理人： | 盛際豐 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市無錫新吳區*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱爐體 工作臺框架 推拉舟 主機 本實用新型 工藝管 氣源柜 石墨舟 高產 太陽能電池技術 全自動機械手 上下料機械手 自動控制系統 活動連接有 表面固定 鍍膜晶片 工藝氣體 精準定位 爐門機構 密封爐門 取料系統 真空系統 晶片 送入 | ||
1.一種12管高產能PECVD設備，包括氣源柜（1）、主機（2）和工作臺框架（3），其特征在于：所述氣源柜（1）的右側與主機（2）的左側固定連接，所述主機（2）的右側與工作臺框架（3）表面的一側固定連接，所述工作臺框架（3）的頂部固定連接有加熱爐體（4），所述加熱爐體（4）的表面活動連接有真空爐門機構（5），所述加熱爐體（4）的表面固定連接有自動控制系統（6），所述加熱爐體（4）內壁的底部固定連接有工作臺（7），所述加熱爐體（4）內壁底部的兩側均活動連接有自動送取料系統（8），所述加熱爐體（4）的內部活動連接有推拉舟（9），所述加熱爐體（4）內壁的一側固定連接有間歇臺（10），所述加熱爐體（4）內壁的一側活動連接有上下料機械手（11）。
2.根據權利要求1所述的一種12管高產能PECVD設備，其特征在于：所述推拉舟（9）包括外框（91），所述外框（91）內壁的兩側均固定連接有滑動軌道板（92），所述滑動軌道板（92）的內表面活動連接有滾動輪（93）。
3.根據權利要求2所述的一種12管高產能PECVD設備，其特征在于：所述滾動輪（93）的表面固定連接有限位環板（94），所述滾動輪（93）的軸心處固定連接有移動桿（95）。
4.根據權利要求3所述的一種12管高產能PECVD設備，其特征在于：所述移動桿（95）的底部活動連接有支撐板（96），所述移動桿（95）的表面活動連接有穩定塊（97），所述穩定塊（97）的內部安裝有驅動設備。
5.根據權利要求4所述的一種12管高產能PECVD設備，其特征在于：所述穩定塊（97）的頂部通過旋轉軸轉動連接有推拉臂（98），所述推拉臂（98）的一端固定連接有接觸塊（99）。
6.根據權利要求1所述的一種12管高產能PECVD設備，其特征在于：所述加熱爐體（4）內部工作時保持工藝氣體內的壓力恒定在需求數值。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
