[實用新型]一種10管高產能PECVD設備

有效

• 申請號: 201822156352.2
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209568142U
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 崔慧敏;林罡;王鵬
• 申請（專利權）人: 無錫華源晶電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/513
• 代理公司: 無錫嘉馳知識產權代理事務所(普通合伙) 32388
• 代理人: 盛際豐

1.一種10管高產能PECVD設備，包括氣源柜（1）、主機（2）、密封爐門機構（3）和工作臺（4），所述氣源柜（1）的一側固定連接有主機（2），且主機（2）遠離氣源柜（1）的一側固定連接有密封爐門機構（3），所述密封爐門機構（3）遠離主機（2）的一側固定連接有工作臺（4），其特征在于：所述工作臺（4）內壁的一側固定連接有上下料機械手（5），所述工作臺（4）內壁的一側固定連接有間歇臺（6），所述工作臺（4）一側的正面與背面均傳動連接有自動送取料系統（7），所述工作臺（4）的正面與背面均固定連接有控制操作臺（8）。

2.根據權利要求1所述的一種10管高產能PECVD設備，其特征在于：所述工作臺（4）的內部設置有推拉舟（9），所述工作臺（4）的內部滑動連接有石墨舟（10）。

3.根據權利要求1所述的一種10管高產能PECVD設備，其特征在于：所述密封爐門機構（3）的內部設置有真空系統（11），所述氣源柜（1）一側的正面與背面均設置有恒溫箱（12）。

4.根據權利要求1所述的一種10管高產能PECVD設備，其特征在于：所述氣源柜（1）的頂部設置有變壓器（13），所述密封爐門機構（3）的頂部設置有排毒箱（14）。

5.根據權利要求1所述的一種10管高產能PECVD設備，其特征在于：所述主機（2）的頂部固定連接有水流開關（15）。

6.根據權利要求1所述的一種10管高產能PECVD設備，其特征在于：所述工作臺（4）的內部設置有Sic槳（16）。