[實用新型]一種防止有機物污染產線的監測裝置及半導體生產設備

有效

• 申請號: 201822151845.7
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209591985U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 柳建軍;陳凡
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;G01N21/3563
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型公開了一種防止有機物污染產線的監測裝置及半導體生產設備，包括信號發生器、信號檢測器，所述信號發生器設置于待檢測物上方，所述信號檢測器設置于對應所述信號發生器的位置。本實用新型的有益效果：監測生產線上的有機物并及時控制生產線運行，從而防止有機物污染生產線，降低產品報廢和節約生產成本。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工技術領域，尤其涉及一種防止有機物污染產線的監測裝置及半導體生產設備。

背景技術

近年來，隨著半導體產業的迅速發展，半導體芯片的應用也越來越廣泛，半導體芯片需通過半導體生產線加工形成，而現有的半導體生產線中的半導體加工設備經常會因為加工工藝中的化學反應，造成設備腔體表面，或者在制品表面附著非預期的有機物，這些非預期的有機物會對設備腔體以及在制品造成污染，而這種非預期的有機物形成的污染會在半導體生產線上隨著被污染的在制品蔓延，導致半導體生產線無法正常工作，從而影響工廠產能。但是，現有技術中并沒有一種好的檢測非預期的有機物形成污染的方法。

因此，如何防止非預期的有機物對半導體生產線形成污染成為亟待解決的技術問題。

實用新型內容

針對現有技術中存在的上述問題，現提供一種旨在監測生產線上的有機物并及時控制半導體生產線運行，從而防止有機物污染半導體生產線，降低產品報廢和節約生產成本的防止有機物污染產線的監測裝置及半導體生產設備。

具體技術方案如下：

一種防止有機物污染產線的監測裝置，其中，包括信號發生器、信號檢測器，信號發生器設置于待檢測物上方，信號檢測器設置于對應信號發生器的位置。

優選的，防止有機物污染產線的監測裝置，其中，信號發生器對待檢測物發射信號，信號檢測器接收待檢測物反射的信號。

優選的，防止有機物污染產線的監測裝置，其中，信號檢測器與控制器連接，控制器與動作單元連接。

優選的，防止有機物污染產線的監測裝置，其中，信號發生器為紅外線信號發生器，信號檢測器為紅外線信號檢測器，紅外線信號發生器發射紅外光對待檢測物進行紅外掃描，紅外線信號檢測器接收待檢測物反射的信號。

優選的，防止有機物污染產線的監測裝置，其中，包括承載面，待檢測物為晶圓，晶圓檢測時被放置于承載面上。

優選的，防止有機物污染產線的監測裝置，其中，動作單元為機械手臂。

還包括一種半導體生產設備，其中，包括防止有機物污染產線的監測裝置，該防止有機物污染產線的監測裝置包括信號發生器、信號檢測器，信號發生器設置于待檢測物上方，信號檢測器對應信號發生器設置。

優選的，半導體生產設備，其中，進一步包括承載面，待檢測物為晶圓，晶圓檢測時被放置于承載面上。

優選的，半導體生產設備，其中，進一步包括晶圓鎖定裝置和/或晶圓暫存裝置，承載面設置于晶圓鎖定裝置和/或晶圓暫存裝置。

優選的，半導體生產設備，其中，進一步包括冷卻裝置，冷卻裝置包括冷卻腔體，待檢測物為冷卻腔體。

上述技術方案具有如下優點或有益效果：監測生產線上非預期的有機物，從而防止非預期的有機物污染半導體生產線，降低產品報廢和節約生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型防止有機物污染產線的監測裝置的實施例的模塊圖。

具體實施方式