[實用新型]一種防止有機物污染產線的監測裝置及半導體生產設備有效
| 申請號： | 201822151845.7 | 申請日： | 2018-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN209591985U | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 柳建軍;陳凡 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/66;G01N21/3563 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 信號發生器 有機物污染 半導體生產設備 本實用新型 信號檢測器 監測裝置 產線 節約生產成本 產品報廢 待檢測物 有機物 監測 | ||
1.一種防止有機物污染產線的監測裝置，其特征在于，包括一信號發生器、一信號檢測器，所述信號發生器設置于一待檢測物上方，所述信號檢測器設置于對應所述信號發生器的位置；
所述信號檢測器與一控制器連接，所述控制器與一動作單元連接。
2.根據權利要求1所述的防止有機物污染產線的監測裝置，其特征在于，所述信號發生器對待檢測物發射信號，所述信號檢測器接收所述待檢測物反射的信號。
3.根據權利要求1所述的防止有機物污染產線的監測裝置，其特征在于，所述信號發生器為紅外線信號發生器，所述信號檢測器為紅外線信號檢測器，所述紅外線信號發生器發射紅外光對所述待檢測物進行紅外掃描，所述紅外線信號檢測器接收所述待檢測物反射的信號。
4.根據權利要求1所述的防止有機物污染產線的監測裝置，其特征在于，包括一承載面，所述待檢測物為晶圓，所述晶圓檢測時被放置于所述承載面上。
5.根據權利要求1所述的防止有機物污染產線的監測裝置，其特征在于，所述動作單元為機械手臂。
6.一種半導體生產設備，其特征在于，包括一防止有機物污染產線的監測裝置，該防止有機物污染產線的監測裝置包括一信號發生器、一信號檢測器，所述信號發生器設置于一待檢測物上方，所述信號檢測器對應所述信號發生器設置。
7.根據權利要求6所述的半導體生產設備，其特征在于，進一步包括承載面，所述待檢測物為晶圓，所述晶圓檢測時被放置于所述承載面上。
8.根據權利要求7所述的半導體生產設備，其特征在于，進一步包括晶圓鎖定裝置和/或晶圓暫存裝置，所述承載面設置于所述晶圓鎖定裝置和/或晶圓暫存裝置。
9.根據權利要求6至8中任一項所述的半導體生產設備，其特征在于，進一步包括冷卻裝置，所述冷卻裝置包括一冷卻腔體，所述待檢測物為所述冷卻腔體。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
