[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺裝置

有效

• 申請號: 201822146084.6
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209388997U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 范海艷
• 申請（專利權）人: 合肥國軒高科動力能源有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 金宇平

1.一種掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，包括樣品座(1)、多個樣品載臺(2)和密封殼體；

多個樣品載臺(2)可拆卸地安裝在樣品座(1)上，密封殼體包圍在樣品座(1)外部，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，密封殼體打開。

2.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，密封殼體包括第一殼體部(3)和第二殼體部(4)，第一殼體部(3)與第二殼體部(4)密封配合，樣品座(1)位于第一殼體部(3)和第二殼體部(4)圍合形成的空間內,密封殼體內外氣壓差大于預定值時，所述密封配合失效。

3.根據權利要求2所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，還包括推拉桿，第一殼體部(3)和第二殼體部(4)分別通過推拉桿(5)與樣品座(1)連接，推拉桿(5)移動方向平行于第一殼體部(3)和第二殼體部(4)連線方向。

4.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，密封殼體上設有開口，開口處設有密封蓋，密封蓋與密封殼體密封配合，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，所述密封配合失效。

5.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，樣品座(1)上設有多個安裝孔，樣品載臺(2)包括一體成型的安裝部和載物部，安裝部配合在安裝孔中。

6.根據權利要求5所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，樣品座(1)上設有多個螺紋孔(11)，多個螺紋孔(11)分別貫穿多個安裝孔側壁，螺紋孔(11)中配合有螺絲。

7.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺裝置，其特征在于，樣品座(1)、樣品載臺(2)采用鋁制材料制成。