[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺裝置

有效

• 申請號: 201822146084.6
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209388997U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 范海艷
• 申請（專利權）人: 合肥國軒高科動力能源有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 金宇平

本實用新型公開了一種掃描電鏡樣品臺裝置，包括樣品座、多個樣品載臺和密封殼體，多個樣品載臺可拆卸地安裝在樣品座上，密封殼體包圍在樣品座外部，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，密封殼體打開；本實用新型中，所提出的掃描電鏡樣品臺裝置，樣品座位于密封殼體內，當密封殼體內充滿惰性氣體狀態下，可避免樣品座上的空氣敏感型樣品接觸水分或空氣受到污染破壞。

技術領域

本實用新型涉及場發射掃描電鏡測試設備技術領域，尤其涉及一種掃描電鏡樣品臺裝置。

背景技術

掃描電鏡即掃描電子顯微鏡，掃描電鏡將聚焦的高能電子束轟擊樣品表面，通過對電子束與樣品相互作用產生的二次電子、背散射電子等信號的分析，可對試樣表面以及斷口形貌進行觀察和分析；掃描電鏡具有高分辨率，高放大倍數，景深大、視野大、成像富有立體感的優點，搭配X射線能譜儀，同時可進行形貌觀察和微區成分分析；掃描電鏡是鋰電池材料領域的一種重要的表征分析手段，可用于研究正負極材料的形貌以及成分，觀測材料粒徑大小，球形度以及不同鋰化物的含量和分布等，此外，掃描電鏡還可用于觀測分析循環后電池材料的變化，電芯材料異常點問題等，在鋰電池領域應用十分廣泛；但是對于一些對水或空氣敏感的一些材料來說，掃描電鏡傳統的直接在空氣中制樣方法可能會導致觀測或分析結果誤差過大，如高鎳三元材料制樣過程中，高鎳三元材料接觸空氣和水分會發生變化，會導致物質的形貌的變化，嵌鋰的負極片，以及涂有鋰金屬的材料等暴露在空氣中會放熱甚至燃燒，不僅物質形貌成分發生變化，而且存在一定的危險性；由此，設計一種可隔絕空氣的封閉式樣品臺，對水分空氣敏感的樣品的掃描電鏡測試是至關重要的。

實用新型內容

為解決背景技術中存在的技術問題，本實用新型提出一種掃描電鏡樣品臺裝置。

本實用新型提出的一種掃描電鏡樣品臺裝置，包括樣品座、多個樣品載臺和密封殼體；

多個樣品載臺可拆卸地安裝在樣品座上，密封殼體包圍在樣品座外部，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，密封殼體打開。

優選地，密封殼體包括第一殼體部和第二殼體部，第一殼體部與第二殼體部密封配合，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，所述密封配合失效，樣品座位于第一殼體部和第二殼體部圍合形成的空間內。

優選地，第一殼體部和第二殼體部分別通過推拉桿與樣品座連接，推拉桿移動方向平行于第一殼體部和第二殼體部連線方向。

優選地，密封殼體上設有開口，開口處設有密封蓋，密封蓋與密封殼體密封配合，密封殼體內外氣壓差大于預定值時，所述密封配合失效。

優選地，樣品座上設有多個安裝孔，樣品載臺包括一體成型的安裝部和載物部，安裝部配合在安裝孔中。

優選地，樣品座上設有多個螺紋孔，多個螺紋孔分別貫穿多個安裝孔側壁，螺紋孔中配合有螺絲。

優選地，樣品座、樣品載臺采用鋁制材料制成。

本實用新型中，所提出的掃描電鏡樣品臺裝置，樣品座位于密封殼體內，當密封殼體內充滿惰性氣體狀態下，可避免樣品座上的空氣敏感型樣品接觸水分或空氣受到污染破壞。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種掃描電鏡樣品臺裝置的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，圖1為本實用新型提出的一種掃描電鏡樣品臺裝置的結構示意圖。

參照圖1，本實用新型提出的一種掃描電鏡樣品臺裝置，包括樣品座1、多個樣品載臺2和密封殼體；

本實施例中的樣品座1呈圓柱狀結構，多個樣品載臺2可拆卸地安裝在樣品座1一側端面上，密封殼體包圍在樣品座1外部，當密封殼體內氣壓大于密封殼體外部氣壓一定值時，密封殼體打開。