[實(shí)用新型]一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822145980.0
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209481855U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉世龍;張澤興;王超;雷琦;劉超;徐云飛;賴昌權(quán)
• 申請（專利權(quán)）人: 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 南昌新天下專利商標(biāo)代理有限公司 36115
• 代理人: 謝德珍

一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置，包括鑲嵌式固定在金屬框架內(nèi)的保護(hù)框，所述保護(hù)框的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面均設(shè)有密排分布的細(xì)孔，所述保護(hù)框內(nèi)裝有類單晶籽晶，類單晶籽晶上端設(shè)有玻璃板，玻璃板上端設(shè)有晶拖，所述保護(hù)框和類單晶籽晶相接觸的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面上還均設(shè)有軟塑料網(wǎng)。本實(shí)用新型在金屬框架中套一個(gè)保護(hù)框，保護(hù)框上具有密排分布的細(xì)孔，保護(hù)框內(nèi)壁的四個(gè)側(cè)面和底面上固定有網(wǎng)狀軟塑料，能夠防止類單晶籽晶直接與保護(hù)框磕碰。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置。

背景技術(shù)

將直拉單晶圓棒去除邊皮得到單晶長棒，粘膠后通過切片機(jī)切成小長方體狀類單晶籽晶，將其平鋪在坩堝底部，再經(jīng)過鑄錠爐得到類單晶鑄錠。類單晶籽晶是生產(chǎn)類單晶鑄錠時(shí)最為重要的原材料，它的完整度直接影響到類單晶鑄錠的質(zhì)量，因?yàn)轭悊尉ё丫У某叽绶譃楹芏喾N，邊長不一定是156.75mm，和產(chǎn)線上的工裝尺寸不匹配，其加工過程中很容易出現(xiàn)崩角、隱裂等損傷，目前脫膠工序出現(xiàn)損傷的概率很大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型其目的就在于提供一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置，解決了目前脫膠工序中出現(xiàn)類單晶籽晶崩角、隱裂等損傷概率很大的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案是，一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置，包括鑲嵌式固定在金屬框架內(nèi)的保護(hù)框，所述保護(hù)框的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面均設(shè)有密排分布的細(xì)孔，所述保護(hù)框內(nèi)裝有類單晶籽晶，類單晶籽晶上端設(shè)有玻璃板，玻璃板上端設(shè)有晶拖，所述保護(hù)框和類單晶籽晶相接觸的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面上還均設(shè)有軟塑料網(wǎng)。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是，能夠防止類單晶籽晶脫膠后因磕碰而造成崩角、隱裂等損傷，保證類單晶籽晶的完整性，提高類單晶籽晶鑄錠的質(zhì)量。

附圖說明

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中金屬框架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中保護(hù)框的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型中軟塑料網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

本裝置包括鑲嵌式固定在金屬框架1內(nèi)的保護(hù)框2，如圖1-圖4所示，所述保護(hù)框2的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面均設(shè)有密排分布的細(xì)孔7，所述保護(hù)框2內(nèi)裝有類單晶籽晶4，類單晶籽晶4上端設(shè)有玻璃板5，玻璃板5上端設(shè)有晶拖6，所述保護(hù)框2和類單晶籽晶4相接觸的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面上還均設(shè)有軟塑料網(wǎng)3。

所述保護(hù)框2和類單晶籽晶4之間的軟塑料網(wǎng)3為單層或多層，以保證類單晶籽晶4的尺寸和保護(hù)框2內(nèi)部的剩余空間相匹配。

本實(shí)用新型為常規(guī)產(chǎn)線上的脫膠工裝，是針對邊長為156.75mm的硅片設(shè)計(jì)，而類單晶籽晶的尺寸有很多種，邊長一般在是100mm-156mm之間，類單晶籽晶4脫膠后會掉落在金屬框架1中，與金屬框架1磕碰，造成類單晶籽晶4崩角、隱裂；金屬框架1底部只有兩個(gè)支撐柱，類單晶籽晶4可能從金屬框架1里掉落到脫膠機(jī)中，也會對類單晶籽晶4造成損傷；本裝置在金屬框架1中套一個(gè)保護(hù)框2，保護(hù)框2的尺寸與金屬框架1的尺寸相匹配，保證保護(hù)框2在金屬框架1中不晃動(dòng)，保護(hù)框2可以是不銹鋼、硬質(zhì)塑料、PPE塑料等材質(zhì)，保護(hù)框2上具有密排分布的細(xì)孔7，出脫膠機(jī)時(shí)，便于液體從細(xì)孔7中流出；保護(hù)框2內(nèi)壁的四個(gè)側(cè)面和底面固定有軟塑料網(wǎng)3，防止類單晶籽晶4直接與保護(hù)框2磕碰；類單晶籽晶4的尺寸比較小時(shí)，在保護(hù)框2內(nèi)壁的四個(gè)側(cè)面和底面多固定幾層軟塑料網(wǎng)3，保證類單晶籽晶4的尺寸和保護(hù)框2內(nèi)部剩余空間相匹配。