[實用新型]一種脫膠工序類單晶籽晶的保護裝置

有效

• 申請號: 201822145980.0
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209481855U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 劉世龍;張澤興;王超;雷琦;劉超;徐云飛;賴昌權
• 申請（專利權）人: 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115
• 代理人: 謝德珍

1.一種脫膠工序類單晶籽晶的保護裝置，包括鑲嵌式固定在金屬框架（1）內的保護框（2），其特征在于，所述保護框（2）的4個側壁以及底部端面均設有密排分布的細孔（7），所述保護框（2）內裝有類單晶籽晶（4），類單晶籽晶（4）上端設有玻璃板（5），玻璃板（5）上端設有晶拖（6），所述保護框（2）和類單晶籽晶（4）相接觸的4個側壁以及底部端面上還均設有軟塑料網（3）。

2.根據權利要求1所述的一種脫膠工序類單晶籽晶的保護裝置，其特征在于，所述保護框（2）和類單晶籽晶（4）之間的軟塑料網（3）為單層或多層，以保證類單晶籽晶（4）的尺寸和保護框（2）內部的剩余空間相匹配。