[實用新型]光伏擴散自動化上下料機有效
| 申請號: | 201822143634.9 | 申請日: | 2018-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN209298088U | 公開(公告)日: | 2019-08-23 |
| 發明(設計)人: | 李長英;江玉新 | 申請(專利權)人: | 江陰方艾機器人有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新愛 |
| 地址: | 214443 江蘇省無錫市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 上下料機 升降板 光伏 吸盤 本實用新型 激光測距儀 工作臺板 自動化 安裝板 擴散 左右對稱設置 底板 頂部設置 均勻排布 豎向設置 石英舟 吸附力 硅片 正對 擱置 損傷 軌道 | ||
1.一種光伏擴散自動化上下料機,所述光伏擴散自動化上下料機包含有工作臺板(1),所述工作臺板(1)的上方設置有行走于軌道上的升降板(6),所述升降板(6)的底板上均勻排布有多個吸盤(8);其特征在于:
所述工作臺板(1)上左右對稱設置有兩塊L形墊塊(2),且位于外側的L形墊塊(2)的高度大于位于內側的L形墊塊(2)的高度,石英舟(3)的兩端分別擱置在兩塊L形墊塊(2)的L形豁口上,一豎向設置的安裝板(4)位于一L形墊塊(2)旁,且安裝板(4)的頂部設置有激光測距儀(5),該激光測距儀(5)正對升降板(6)上的吸盤(8)。
2.如權利要求1所述一種光伏擴散自動化上下料機,其特征在于:所述安裝板(4)安裝于位于外側的L形墊塊(2)旁。
3.如權利要求1所述一種光伏擴散自動化上下料機,其特征在于:所述石英舟(3)的長度、兩塊L形墊塊(2)之間的間距、以及兩塊L形墊塊(2)之間的高度差構成一直角三角形的三條邊。
4.如權利要求1所述一種光伏擴散自動化上下料機,其特征在于:所述L形墊塊(2)豁口處沿其寬度方向設置有卡槽,上述石英舟(3)的兩側側板分別嵌置于兩塊L形墊塊(2)的卡槽內。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





