[實用新型]高可靠型刻蝕上料機有效
| 申請號: | 201822143631.5 | 申請日: | 2018-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN209298087U | 公開(公告)日: | 2019-08-23 |
| 發明(設計)人: | 李長英;江玉新 | 申請(專利權)人: | 江陰方艾機器人有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新愛 |
| 地址: | 214443 江蘇省無錫市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳輸帶 翻轉盤 上料機 高可靠 刻蝕 本實用新型 傳輸方向 徑向均勻分布 垂直設置 電機驅動 多個插槽 中心轉軸 有機架 硅片 | ||
本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機,所述上料機包含有機架(1),所述機架(1)上設置有傳輸帶一(2)和傳輸帶二(4),所述傳輸帶一(2)的傳輸方向和傳輸帶二(4)的傳輸方向相互垂直設置;且傳輸帶一(2)旁設置有翻轉盤(5),所述翻轉盤(5)的盤面上沿其徑向均勻分布有多個插槽(5.1),翻轉盤(5)的中心轉軸由電機驅動旋轉,且翻轉盤(5)的中心高度與傳輸帶一(2)的高度相一致。本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機,不會在硅片工作面留下痕跡。
技術領域
本實用新型涉及一種高可靠型刻蝕上料機,屬于光伏配套設備技術領域。
背景技術
目前,刻蝕時太陽能電池片生產工藝中必不可少的一道工序,為了提高生產效率;如今都采用上料機進行機械上料;但是,常規上料機在上料過程中容易在加工面上遺留皮帶的痕跡,從而影響后續太陽能電池板的光電轉換效率。
發明內容
本實用新型的目的在于克服上述不足,提供一種不會在硅片工作面留下痕跡的高可靠型刻蝕上料機。
本實用新型的目的是這樣實現的:
一種高可靠型刻蝕上料機,所述上料機包含有機架,所述機架上設置有傳輸帶一和傳輸帶二,所述傳輸帶一的傳輸方向和傳輸帶二的傳輸方向相互垂直設置;且傳輸帶一旁設置有翻轉盤,所述翻轉盤的盤面上沿其徑向均勻分布有多個插槽,翻轉盤的中心轉軸由電機驅動旋轉,且翻轉盤的中心高度與傳輸帶一的高度相一致;所述傳輸帶二設置于升降臺上,所述升降臺位于傳輸帶一的下方,所述升降臺的頂面平行設置有多個供傳輸帶一嵌入的凹槽,所述升降臺由升降機構驅動進行升降,當升降臺上升時,傳輸帶一嵌入凹槽內,傳輸帶二高于傳輸帶一;當升降臺下降時,傳輸帶一脫離凹槽,傳輸帶二低于傳輸帶一。
本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機,所述述升降臺的側壁上部和下部分別設置有上排皮帶輪和下排皮帶輪,所述傳輸帶二繞置于上排皮帶輪和下排皮帶輪之間。
本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機,所述升降機構為氣缸或電動推桿。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:
本實用新型高可靠型刻蝕上料機將硅片翻轉后進行傳輸,從而避免了在工作面留下痕跡,保證了工作面的潔凈度,避免了對太陽能電池板的光電轉換率造成不良影響,提高了生產的可靠性。
附圖說明
圖1為本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機的結構示意圖。
圖2為本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機的另一視角的結構示意圖。
圖3為本實用新型一種高可靠型刻蝕上料機的圖1的局部放大圖。
其中:
機架1、傳輸帶一2、升降臺3、傳輸帶二4、翻轉盤5、伸縮皮帶組件6;
凹槽3.1;
上排皮帶輪4.1、下排皮帶輪4.2;
插槽5.1;
具體實施方式
參見圖1~3,本實用新型涉及的一種高可靠型刻蝕上料機,所述上料機包含有機架1,所述機架1上設置有傳輸帶一2和傳輸帶二4,所述傳輸帶一2的傳輸方向和傳輸帶二4的傳輸方向相互垂直設置;且傳輸帶一2旁設置有翻轉盤5,所述翻轉盤5的盤面上沿其徑向均勻分布有多個插槽5.1,翻轉盤5的中心轉軸由電機驅動旋轉,且翻轉盤5的中心高度與傳輸帶一2的高度相一致,從而便于傳輸帶一2將硅片在運輸的過程中插置于插槽5.1內,然后隨同翻轉盤5翻面后轉移至另一端的傳輸帶一2上;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





