[實(shí)用新型]高可靠型刻蝕上料機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201822143631.5 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-19 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209298087U | 公開(公告)日: | 2019-08-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李長(zhǎng)英;江玉新 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江陰方艾機(jī)器人有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新愛 |
| 地址: | 214443 江蘇省無(wú)錫市*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 傳輸帶 翻轉(zhuǎn)盤 上料機(jī) 高可靠 刻蝕 本實(shí)用新型 傳輸方向 徑向均勻分布 垂直設(shè)置 電機(jī)驅(qū)動(dòng) 多個(gè)插槽 中心轉(zhuǎn)軸 有機(jī)架 硅片 | ||
1.一種高可靠型刻蝕上料機(jī),其特征在于:所述上料機(jī)包含有機(jī)架(1),所述機(jī)架(1)上設(shè)置有傳輸帶一(2)和傳輸帶二(4),所述傳輸帶一(2)的傳輸方向和傳輸帶二(4)的傳輸方向相互垂直設(shè)置;且傳輸帶一(2)旁設(shè)置有翻轉(zhuǎn)盤(5),所述翻轉(zhuǎn)盤(5)的盤面上沿其徑向均勻分布有多個(gè)插槽(5.1),翻轉(zhuǎn)盤(5)的中心轉(zhuǎn)軸由電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),且翻轉(zhuǎn)盤(5)的中心高度與傳輸帶一(2)的高度相一致。
2.如權(quán)利要求1所述一種高可靠型刻蝕上料機(jī),其特征在于:所述傳輸帶二(4)設(shè)置于升降臺(tái)(3)上,所述升降臺(tái)(3)位于傳輸帶一(2)的下方,所述升降臺(tái)(3)的頂面平行設(shè)置有多個(gè)供傳輸帶一(2)嵌入的凹槽(3.1),所述升降臺(tái)(3)由升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降,當(dāng)升降臺(tái)(3)上升時(shí),傳輸帶一(2)嵌入凹槽(3.1)內(nèi),傳輸帶二(4)高于傳輸帶一(2);當(dāng)升降臺(tái)(3)下降時(shí),傳輸帶一(2)脫離凹槽(3.1),傳輸帶二(4)低于傳輸帶一(2)。
3.如權(quán)利要求2所述一種高可靠型刻蝕上料機(jī),其特征在于:所述升降臺(tái)(3)的側(cè)壁上部和下部分別設(shè)置有上排皮帶輪(4.1)和下排皮帶輪(4.2),所述傳輸帶二(4)繞置于上排皮帶輪(4.1)和下排皮帶輪(4.2)之間。
4.如權(quán)利要求2所述一種高可靠型刻蝕上料機(jī),其特征在于:所述升降機(jī)構(gòu)為氣缸或電動(dòng)推桿。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





