[實用新型]一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備

有效

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• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN209798077U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發(fā)明（設計）人: 徐義;岳志遠
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18
• 代理公司: 11250 北京三聚陽光知識產權代理有限公司
• 代理人: 朱靜謙

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，具體涉及一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備，該用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置包括：儲氣室，設有至少一個朝向太陽能基板延伸的引流管，在所述引流管遠離所述儲氣室一端設有朝向所述太陽能基板噴射氣體的開孔。本實用新型提供了一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備，提高了硒蒸汽的利用率。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，具體涉及一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備。

背景技術

太陽能被認為是環(huán)保，使用方便的能源之一，且其取之不盡，用之不竭。太陽能發(fā)電池是實現太陽能轉變電能的重要發(fā)明，其主要是利用光伏效應將光能直接轉換成電能。其中太陽能薄膜電池具有成本低、轉換效率高、性能穩(wěn)定、弱光特性好等優(yōu)點。

硒作為太陽能薄膜電池制作的基礎物料，通過蒸發(fā)源加熱硒使得固態(tài)硒轉化為氣態(tài)，由分配器噴射并充斥于太陽能薄膜電池制作的工藝腔室中，且可以自由運動，現有的分配器會導致大量的硒蒸汽無法蒸鍍到太陽能基板上，從而降低硒的利用率，實際生產過程中，約有60％左右的硒，并未蒸鍍在太陽能基板上，導致生產過程中的硒的巨大浪費，因此分配器的結構直接關系到硒的利用率。

實用新型內容

因此，本實用新型要解決的技術問題在于克服現有技術中的分配器結構不足，導致大量的硒蒸汽無法蒸鍍在太陽能基板上，從而降低硒的利用率的缺陷，從而提供一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備，提高硒蒸汽的利用率。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，包括：

儲氣室，設有至少一個朝向太陽能基板延伸的引流管，在所述引流管遠離所述儲氣室一端設有朝向所述太陽能基板噴射氣體的開孔。

進一步，在所述引流管遠離所述儲氣室的一端還設有用于連接若干所述引流管的噴射管，所述開孔間隔成型在所述噴射管上。

進一步，所述引流管與所述開孔對應設置。

進一步，在所述儲氣室、引流管以及噴射管的外壁上均設有加熱單元。

進一步，在所述加熱單元的外側還設有外殼。

進一步，所述噴射管的軸向與所述引流管的軸向相互垂直設置。

進一步，所述儲氣室、引流管以及噴射管的材質均為鉭。

還提供了一種用于太陽能薄膜電池制作的鍍膜設備，包括腔室，所述腔室內部設置有所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置。

進一步，所述太陽能基板設置在腔室內部，太陽能基板設于所述開孔的上方，還包括用于將所述太陽能基板沿預定方向輸送的傳輸裝置。

進一步，所述儲氣室的進氣口延伸至所述腔室的外部，蒸發(fā)源的出氣口與儲氣室的進口連通。

本實用新型技術方案，具有如下優(yōu)點：

1.本實用新型提供的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，向噴射裝置中通入硒蒸汽，在噴射裝置中增設了引流管，通過開孔將硒蒸汽直接作用在太陽能基板上，引流管的設置縮短了硒蒸汽運動至太陽能基板的距離，使硒蒸汽最大程度作用在太陽能基板上，防止了由于開孔與太陽能基板之間的距離較遠，硒蒸汽在運動到太陽能基板上的過程中可能發(fā)生偏離，從而造成硒蒸汽的浪費，同時提高了硒蒸汽在太陽能薄膜電池制作中的利用率，不需要短期內就向蒸發(fā)源補充硒原料，延長了蒸發(fā)源的使用周期。同時噴射裝置噴射出去的硒蒸汽均勻，使得在太陽能基板上形成的薄膜厚度更均勻。