[實用新型]一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置及鍍膜設備有效
| 申請號： | 201822143133.0 | 申請日： | 2018-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN209798077U | 公開（公告）日： | 2019-12-17 |
| 發明（設計）人： | 徐義;岳志遠 | 申請（專利權）人： | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 | 代理人： | 朱靜謙 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能薄膜電池 噴射裝置 本實用新型 太陽能基板 鍍膜設備 儲氣室 引流管 制作 太陽能電池技術 噴射氣體 硒蒸汽 開孔 延伸 | ||
1.一種用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，包括：
儲氣室(2)，設有至少一個朝向太陽能基板(9)延伸的引流管(3)，在所述引流管(3)遠離所述儲氣室(2)一端設有朝向所述太陽能基板(9)噴射氣體的開孔(5)。
2.根據權利要求1所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，在所述引流管(3)遠離所述儲氣室(2)的一端還設有用于連接若干所述引流管(3)的噴射管(4)，所述開孔(5)間隔成型在所述噴射管(4)上。
3.根據權利要求2所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，所述引流管(3)與所述開孔(5)對應設置。
4.根據權利要求3所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，在所述儲氣室(2)、引流管(3)以及噴射管(4)的外壁上均設有加熱單元(6)。
5.根據權利要求4所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，在所述加熱單元(6)的外側還設有外殼。
6.根據權利要求2所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，所述噴射管(4)的軸向與所述引流管(3)的軸向相互垂直設置。
7.根據權利要求2所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置，其特征在于，所述儲氣室(2)、引流管(3)以及噴射管(4)的材質均為鉭。
8.一種用于太陽能薄膜電池制作的鍍膜設備，其特征在于，包括腔室(7)，所述腔室(7)內部設置有如權利要求1-7任一項所述的用于太陽能薄膜電池制作的噴射裝置。
9.根據權利要求8所述的用于太陽能薄膜電池制作的鍍膜設備，其特征在于，所述太陽能基板(9)設置在腔室(7)內部，太陽能基板(9)設于所述開孔(5)的上方，還包括用于將所述太陽能基板(9)沿預定方向輸送的傳輸裝置(8)。
10.根據權利要求8所述的用于太陽能薄膜電池制作的鍍膜設備，其特征在于，所述儲氣室(2)的進氣口延伸至所述腔室(7)的外部，蒸發源(10)的出氣口與儲氣室(2)的進口連通。
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