[實(shí)用新型]化學(xué)氣相沉積用隔離室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822142924.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209397264U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范繼良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 黃劍鳴
• 主分類號(hào): C23C16/54
• 分類號(hào): C23C16/54
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;王志

1.一種化學(xué)氣相沉積用隔離室，適用于設(shè)置在第一沉積室和第二沉積室之間，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積用隔離室包括呈中空結(jié)構(gòu)的隔離腔體及輥軸組件，所述中空結(jié)構(gòu)形成抽氣腔，所述隔離腔體一側(cè)延伸出與所述第一沉積室密封對(duì)接的第一通道，所述隔離腔體的另一側(cè)延伸出與所述第二沉積室密封對(duì)接的第二通道，所述第一通道與所述第二通道正對(duì)設(shè)置，所述第一通道、抽氣腔及第二通道依次連通，所述隔離腔體上貫穿開(kāi)設(shè)有用于與外界抽氣裝置連通的抽氣口，所述輥軸組件設(shè)置于所述抽氣腔內(nèi)，所述輥軸組件包括呈上下相切設(shè)置的從動(dòng)輥軸和主動(dòng)輥軸，所述主動(dòng)輥軸連接一驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的輥軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述主動(dòng)輥軸和所述從動(dòng)輥軸外均具有呈柔性結(jié)構(gòu)的硅膠層，所述主動(dòng)輥軸與所述從動(dòng)輥軸相切處正對(duì)所述第一通道和所述第二通道。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積用隔離室，其特征在于，所述主動(dòng)輥軸和所述從動(dòng)輥軸的硅膠層的側(cè)壁與所述隔離腔體的內(nèi)側(cè)壁相接觸，所述從動(dòng)輥軸的硅膠層的頂壁與所述隔離腔體的內(nèi)頂壁之間具有間隙。

3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積用隔離室，其特征在于，所述抽氣口設(shè)置于所述隔離腔體的頂部。