[實用新型]一種硅片不良品橫移剔除裝置

有效

• 申請號: 201822141097.4
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209363071U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 張弛;王志剛;王四海
• 申請（專利權）人: 南京卓勝自動化設備有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 肖明芳

本實用新型公開了一種硅片不良品橫移剔除裝置，包括電缸、懸臂以及吸盤；所述電缸的兩端通過電缸固定板固定在機架上；所述懸臂的頂部可活動的設置在電缸上，并通過電缸驅動進行水平移動；所述吸盤通過吸盤固定板設置在懸臂的底部，通過懸臂底部的吸盤將下方的硅片吸取住，然后剔除出生產線。

技術領域

本實用新型涉及硅片輸送設備，特別是一種硅片不良品橫移剔除裝置。

背景技術

現有刻蝕、制絨下料工藝中，在生產中機器檢測到不良品硅片時會自動報警，等待人工取出不良品。人工取片及等待時間容易造成硅片堆積增加了作業人員的工作強度，降低了生產效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種能夠自動剔除硅片不良品的裝置，通過伯努力吸盤將硅片吸起并剔除出生產線，替代人工剔除，從而提高生產效率。

為了解決上述技術問題，本實用新型公開了一種硅片不良品橫移剔除裝置，包括電缸、懸臂以及吸盤；所述電缸的兩端通過電缸固定板固定在機架上；所述懸臂的頂部可活動的設置在電缸上，并通過電缸驅動進行水平移動；所述吸盤通過吸盤固定板設置在懸臂的底部，通過懸臂底部的吸盤將下方的硅片吸取住，然后剔除出生產線。

進一步地，所述懸臂的底部還設有檢測裝置，檢測裝置一端位于吸盤內部，若檢測到吸盤下放后未能成功吸住硅片，則觸發報警信號。

優選地，所述吸盤上設有U型槽，用于排出多余放射狀氣流，能夠更好的讓硅片和吸盤面進行貼合。

優選地，所述吸盤頂部設有氣管接頭，用于引入壓縮空氣；此吸盤為伯努力吸盤，當通入高壓空氣時，高壓空氣經過吸盤后將吸盤出氣口處空氣帶走，流經的空氣經U 型槽排出，可形成真空，周圍空氣要把真空處補滿，則在吸盤下方形成吸力把硅片吸起。

優選地，所述吸盤的外圍直徑自上而下逐漸增大，并對接觸面進行加工處理，以減少接觸應力。

進一步地，所述電缸的一側下方設有硅片收集裝置，懸臂移動至硅片收集裝置上方后將吸取的硅片放入硅片收集裝置內。

有益效果：

本實用新型剔除裝置結構緊湊，采用懸臂將吸盤移動到不良硅片的上方，對硅片不良品進行選擇性剔除，通過伯努力吸盤將硅片吸起，吸盤可不觸硅片，距離吸盤面 5mm時即可將硅片吸取，為防止硅片破碎，吸盤外圍增大直徑，加工接觸面，減少接觸應力；該裝置解決人工剔除硅片的問題，在不影響效率的前提下減少了設備報警，同時減輕了作業人員的勞動強度，在實際生產中已得到驗證，設備碎片率降低到0.02％，該裝置機動率在100％，可以在制絨、刻蝕上下料機等設備上使用。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型做更進一步的具體說明，本實用新型的上述和/或其他方面的優點將會變得更加清楚。

圖1是該剔除裝置的主視圖；

圖2是該剔除裝置的俯視圖；

圖3是該剔除裝置的側視圖；

圖4是該剔除裝置的立體結構示意圖；

圖5是該剔除裝置吸盤的俯視結構圖；

圖6是該剔除裝置吸盤的正面結構圖。

具體實施方式

根據下述實施例，可以更好地理解本發明。