[實(shí)用新型]一種硅片不良品橫移剔除裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822141097.4
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209363071U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張弛;王志剛;王四海
• 申請（專利權(quán)）人: 南京卓勝自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 肖明芳

1.一種硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，包括電缸(2)、懸臂(3)以及吸盤(6)；所述電缸(2)的兩端通過電缸固定板(1)固定在機(jī)架上；所述懸臂(3)的頂部可活動(dòng)的設(shè)置在電缸(2)上，并通過電缸(2)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行水平移動(dòng)；所述吸盤(6)通過吸盤固定板(5)設(shè)置在懸臂(3)的底部，通過懸臂(3)底部的吸盤(6)將下方的硅片(7)吸取住，然后剔除出生產(chǎn)線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，所述懸臂(3)的底部還設(shè)有檢測裝置(4)，檢測裝置(4)一端位于吸盤(6)內(nèi)部，若檢測到吸盤(6)下放后未能成功吸住硅片(7)，則觸發(fā)報(bào)警信號。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，所述吸盤(6)上設(shè)有U型槽(61)，用于排出多余放射狀氣流。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，所述吸盤(6)頂部設(shè)有氣管接頭(62)，用于引入壓縮空氣。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，所述吸盤(6)的外圍直徑自上而下逐漸增大。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片不良品橫移剔除裝置，其特征在于，所述電缸(2)的一側(cè)下方設(shè)有硅片收集裝置(8)，懸臂(3)移動(dòng)至硅片收集裝置(8)上方后將吸取的硅片(7)放入硅片收集裝置(8)內(nèi)。