[實用新型]一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜夾持裝置

有效

• 申請號: 201822134306.2
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN209428590U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 宋宇軒;陳迦南;潘州鑫;黃先偉;李相清;馬毅
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本實用新型公開了一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，包括試樣臺固定裝置和圓棒試樣夾持裝置。試樣臺固定裝置由固定板、螺釘等部件組成；圓棒試樣夾持裝置由電機、螺紋套筒等部件組成。本實用新型結構設計巧妙，使用方便，能夠自動給圓棒試樣鍍膜。在磁控濺射儀內應用本裝置給圓棒試樣鍍膜，操作簡單，自動性高，穩定性強，膜的厚度也比較均勻，且與基體有著良好的結合力。

技術領域

本實用新型屬于圓棒試樣鍍膜領域，具體涉及一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜夾持裝置。

背景技術

目前，各式各樣的具有優秀力學性能的薄膜在石油、化工、制藥等生產領域具有廣泛的應用前景。在實驗室制備薄膜并進行力學性能測試之前，薄膜需要先鍍在合適的基體上。磁控濺射儀是一種十分先進且技術成熟的鍍膜儀器，適用于制備金屬、無機物甚至高分子薄膜。已經廣泛應用在金屬強化膜、半導體太陽能薄膜、磁性器件薄膜甚至陶瓷薄膜等領域。通過磁控濺射鍍膜，成膜速度快，薄膜質量高，膜-基結合力強，薄膜成分、結構均勻。但是磁控濺射儀自帶的系統一般只適用于具有平面的板塊狀基體試樣鍍膜，對于曲面的圓棒試樣并不適用，由于存在陰影效應，鍍上的膜將會厚度不均勻，這會對后續的力學性能試驗造成很嚴重的影響。而圓棒狀試樣憑借其自身的優點被廣泛的應用于高溫蠕變試驗、蠕變疲勞試驗等一些力學性能試驗中，而板塊狀試樣并不適用于這些試驗。因此，如何開發一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣夾持裝置，能夠使得磁控濺射儀均勻的給圓棒試樣鍍膜已經成為影響具有優秀力學性能的薄膜研發領域的關鍵性難題。

實用新型內容

針對現有技術中存在的上述問題，本實用新型的目的在于提供一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，以使得磁控濺射儀可以給帶有曲面的圓棒試樣進行鍍膜。

為實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，包括試樣臺固定裝置和圓棒試樣夾持裝置；所述圓棒試樣夾持裝置通過試樣臺固定裝置固定連接在磁控濺射儀試樣臺的下部；所述圓棒試樣夾持裝置包括L型固定座、第一電機、第一螺紋套筒、固定座、第二螺紋套筒、第一軸承和第二軸承；所述L型固定座上設有第一電機，第一電機的輸出軸與第一螺紋套筒固定連接，第一螺紋套筒穿過L型固定座并通過第二軸承與L型固定座活動連接；所述第二螺紋套筒穿過固定座并通過第一軸承與固定座活動連接；所述L型固定座和固定座分別與試樣臺固定裝置固定連接。

所述的一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，所述試樣臺固定裝置包括第一固定板、第二固定板、第一螺釘、第一螺母、第三固定板、第二螺釘和第二螺母，所述第一固定板的一端與第二固定板通過第一螺釘和第一螺母的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺上；所述第一固定板的另一端與第三固定板通過第二螺釘與第二螺母的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺上；所述第一固定板的上表面與磁控濺射儀試樣臺的下表面緊密貼合；所述L型固定座和固定座分別與第一固定板固定連接。

所述的一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，其特征在于，所述第一固定板的上表面與磁控濺射儀試樣臺的下表面緊密貼合。

所述的一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，所述第一螺紋套筒與第二螺紋套筒的開口相互對應，并與兩端絞有螺紋的圓棒試樣相互配合。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：本實用新型設計巧妙，結構合理，自動化程度高。在磁控濺射儀中應用本裝置給圓棒試樣鍍膜，可以保證薄膜的厚度在圓棒試樣曲面上的均勻性，同時也能保證了測量的薄膜與圓棒試樣具有良好的結合力，對非晶薄膜的研究領域具有重要的意義。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；