[實(shí)用新型]一種適用于磁控濺射儀的自動(dòng)式圓棒試樣鍍膜夾持裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822134306.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN209428590U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋宇軒;陳迦南;潘州鑫;黃先偉;李相清;馬毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.一種適用于磁控濺射儀的自動(dòng)式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，其特征在于，包括試樣臺(tái)固定裝置和圓棒試樣夾持裝置；所述圓棒試樣夾持裝置通過試樣臺(tái)固定裝置固定連接在磁控濺射儀試樣臺(tái)（7）的下部；所述圓棒試樣夾持裝置包括L型固定座（25）、第一電機(jī)（1）、第一螺紋套筒（2）、固定座（18）、第二螺紋套筒（17）、第一軸承（16）和第二軸承（24）；所述L型固定座（25）上設(shè)有第一電機(jī)（1），第一電機(jī)（1）的輸出軸與第一螺紋套筒（2）固定連接，第一螺紋套筒（2）穿過L型固定座（25）并通過第二軸承（24）與L型固定座（25）活動(dòng)連接；所述第二螺紋套筒（17）穿過固定座（18）并通過第一軸承（16）與固定座（18）活動(dòng)連接；所述L型固定座（25）和固定座（18）分別與試樣臺(tái)固定裝置固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于磁控濺射儀的自動(dòng)式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述試樣臺(tái)固定裝置包括第一固定板（4）、第二固定板（6）、第一螺釘（5）、第一螺母（3）、第三固定板（12）、第二螺釘（13）和第二螺母（14），所述第一固定板（4）的一端與第二固定板（6）通過第一螺釘（5）和第一螺母（3）的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺(tái)（7）上；所述第一固定板（4）的另一端與第三固定板（12）通過第二螺釘（13）與第二螺母（14）的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺(tái)（7）上；所述L型固定座（25）和固定座（18）分別與第一固定板（4）固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于磁控濺射儀的自動(dòng)式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述第一固定板（4）的上表面與磁控濺射儀試樣臺(tái)（7）的下表面緊密貼合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于磁控濺射儀的自動(dòng)式圓棒試樣鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述第一螺紋套筒（2）與第二螺紋套筒（17）的開口相互對(duì)應(yīng)，并與兩端絞有螺紋的圓棒試樣（19）相互配合。