[實(shí)用新型]一種取料裝置、上下料機(jī)構(gòu)及供料系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201822126078.4 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209328870U | 公開(公告)日: | 2019-08-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊波;沈杰;李波 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518172 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 滾輪 傳動(dòng) 取料裝置 安裝板 皮帶 滑軌連接 固定部 滑軌 本實(shí)用新型 上下料機(jī)構(gòu) 供料系統(tǒng) 皮帶連接 取料 | ||
1.一種取料裝置,其特征在于:所述取料裝置(20)包括,
安裝板(21);
第一調(diào)節(jié)部(22),通過第一滑軌連接于安裝板(21),第一滑軌限定第一調(diào)節(jié)部(22)沿第一方向a運(yùn)動(dòng);
第二調(diào)節(jié)部(23),通過第二滑軌連接于第一調(diào)節(jié)部(22),第二滑軌限定第二調(diào)節(jié)部(23)相對(duì)于第一調(diào)節(jié)部(22)沿第一方向a運(yùn)動(dòng);所述第二調(diào)節(jié)部(23)安裝有取料部(24);
所述第一調(diào)節(jié)部(22)安裝有第一滾輪(221)和第二滾輪(222),所述第一滾輪(221)和第二滾輪(222)通過第一皮帶(223)連接,所述第一滾輪(221)和第二滾輪(222)之間為第一皮帶(223)第一傳動(dòng)部分和第二傳動(dòng)部分;第一皮帶(223)第一傳動(dòng)部分通過第一固定部(224)固定于安裝板(21),第一皮帶(223)第二傳動(dòng)部分通過第二固定部(231)固定于第二調(diào)節(jié)部(23)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取料裝置,其特征在于:所述第一皮帶(223)為同步帶。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取料裝置,其特征在于:所述取料裝置(20)包括第一驅(qū)動(dòng)部(25),所述第一驅(qū)動(dòng)部(25)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(251)、從動(dòng)輪(252)和第二皮帶(253),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(251)和從動(dòng)輪(252)安裝于安裝板(21),所述第二皮帶(253)連接于驅(qū)動(dòng)電機(jī)(251)輸出軸和從動(dòng)輪(252);所述第二皮帶(253)一側(cè)固定于第一調(diào)節(jié)部(22)。
4.一種包括權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述取料裝置的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述上下料機(jī)構(gòu)(100)包括豎直調(diào)節(jié)部(30);
所述豎直調(diào)節(jié)部(30)包括第一機(jī)架(31)、豎直導(dǎo)軌(32)和豎直絲桿(33);所述豎直導(dǎo)軌(32)連接于取料裝置(20)和第一機(jī)架(31),使取料裝置(20)能夠相對(duì)于第一機(jī)架(31)沿豎直方向運(yùn)動(dòng);所述豎直絲桿(33)連接于取料裝置(20)和第一機(jī)架(31),通過所述豎直絲桿(33)的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述取料裝置(20)沿豎直導(dǎo)軌(32)運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述上下料機(jī)構(gòu)(100)包括第二驅(qū)動(dòng)部(34),所述第二驅(qū)動(dòng)部(34)安裝于第一機(jī)架(31),所述第二驅(qū)動(dòng)部(34)輸出軸連接所述豎直絲桿(33)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述第一方向a為水平方向。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述上下料機(jī)構(gòu)(100)包括第一水平調(diào)節(jié)部(40);所述第一水平調(diào)節(jié)部(40)包括底板(41)、水平導(dǎo)軌(42)和水平絲桿(43),所述水平導(dǎo)軌(42)連接于底板(41)和第一機(jī)架(31);水平絲桿(43)連接于底板(41)和第一機(jī)架(31),轉(zhuǎn)動(dòng)所述水平絲桿(43)驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)架(31)相對(duì)于底板(41)沿水平導(dǎo)軌(42)第二方向b運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述第二方向b垂直于第一方向a。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的上下料機(jī)構(gòu),其特征在于:所述水平絲桿(43)連接有第三驅(qū)動(dòng)部(44),所述第三驅(qū)動(dòng)部(44)安裝于底板(41)。
10.一種供料系統(tǒng),其特征在于:所述供料系統(tǒng)(200)包括權(quán)利要求4-9任意一項(xiàng)所述的上下料機(jī)構(gòu)(100)。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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