[實用新型]濺射陽極罩和濺射裝置有效
| 申請號： | 201822123930.2 | 申請日： | 2018-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN209778982U | 公開（公告）日： | 2019-12-13 |
| 發明（設計）人： | 李仕軍;高文波 | 申請（專利權）人： | 廣東生波爾光電技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44327 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 528400 廣東省中山市板芙*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 冷卻管 罩體 冷卻裝置 本實用新型 貼附 濺射裝置 均勻性 熱輻射 熱源 鍍膜 基材 濺射 溫升 | ||
1.一種濺射陽極罩，其特征在于，包括：
罩體；以及
冷卻裝置，包括冷卻管，所述冷卻管貼附于所述罩體上。
2.如權利要求1所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述罩體包括層疊設置的內罩和外罩，所述冷卻裝置夾設于所述內罩及所述外罩之間。
3.如權利要求1所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述冷卻管呈彎折設置。
4.如權利要求2所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述冷卻管包括多個水循環模塊，多個所述水循環模塊分布于所述罩體的濺射孔的周邊。
5.如權利要求4所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述外罩包括設有濺射孔的頂板及設于所述頂板相對兩側的側板，所述側板與所述頂板的內側面均設有所述冷卻管。
6.如權利要求5所述的濺射陽極罩，其特征在于，每一所述水循環模塊包括側冷卻管、頂冷卻管和連接所述側冷卻管和頂冷卻管的連接管，所述側冷卻管貼附于所述側板的內壁面，所述頂冷卻管貼附于所述頂板的內壁面。
7.如權利要求2所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述濺射陽極罩還包括管道壓板，所述管道壓板與所述外罩的內壁面固定連接，以將所述冷卻管壓緊固定在所述外罩的內壁面上。
8.如權利要求1至7中任意一項所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述濺射陽極罩還包括法蘭，所述冷卻管的進水端及出水端穿設所述法蘭的法蘭孔，并與所述法蘭焊接連接。
9.如權利要求2所述的濺射陽極罩，其特征在于，所述濺射陽極罩還包括擋板，所述擋板可拆卸的設于所述內罩的內表面，以部分遮擋罩體的濺射孔。
10.一種濺射裝置，其特征在于，包括如權利要求1-9中任意一項所述的濺射陽極罩。
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