[實用新型]一種真空室內傳輸機構定位裝置

有效

• 申請號: 201822106101.3
• 申請日: 2018-12-15
• 公開（公告）號: CN209456560U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 舒逸;劉光斗;李贊
• 申請（專利權）人: 湖南玉豐真空科學技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種真空室內傳輸機構定位裝置，包括傳輸機構、傳輸機構驅動馬達、PLC，PLC通過控制傳輸機構驅動馬達的速度和時間定位傳輸機構的位置，在定位位置處的真空室箱體上設有通孔，氣缸通過密封座固定在通孔處，在靠近真空側一端密封座內部安裝有導向套，氣缸的活塞桿沿導向套移動，在活塞桿末端安裝有活動定位塊，活動定位塊上設有倒V型凸起，傳輸機構上安裝有固定定位塊，固定定位塊上設有與倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制氣缸動作。本實用新型的定位裝置通過在定位位置處的真空室箱體上設置氣缸，由設置在氣缸上的活動定位塊與設置在傳輸機構上的固定定位塊配合來保證每一次的精準定位。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，具體為一種真空室內傳輸機構定位裝置。

背景技術

基片架在真空室內傳送時，要求傳輸機構能夠精準定位。現有技術中的定位是單純的依靠PLC通過控制馬達的速度和時間來計算出傳輸機構的位置，長時間的運行中需要定期進行校正處理，才能保證位置的精準度要求，從而增加了工作負擔影響工作效率。

發明內容

本實用新型提供一種真空室內傳輸機構定位裝置，通過增加機械式的定位裝置能有效的確保每次的定位精準度。

本實用新型采用的技術方案如下：一種真空室內傳輸機構定位裝置，包括傳輸機構、傳輸機構驅動馬達、PLC，PLC通過控制傳輸機構驅動馬達的速度和時間定位傳輸機構的位置，在定位位置處的真空室箱體上設有通孔，氣缸通過密封座固定在通孔處，在靠近真空側一端密封座內部安裝有導向套，氣缸的活塞桿沿導向套移動，在活塞桿末端安裝有活動定位塊，活動定位塊上設有倒V型凸起，傳輸機構上安裝有固定定位塊，固定定位塊上設有與倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制氣缸動作。

進一步地，在真空室內壁上安裝有導向座，所述活動定位塊沿導向座移動。

進一步地，所述氣缸與密封座之間通過雙層或多層油封密封。

進一步地，所述固定定位塊通過固定座安裝在傳輸機構上，固定定位塊與固定座之間通過螺栓連接，設置在固定固定塊上的螺栓孔為腰型孔。

本實用新型的定位裝置通過在定位位置處的真空室箱體上設置氣缸，由設置在氣缸上的活動定位塊與設置在傳輸機構上的固定定位塊配合來保證每一次的精準定位，首先，PLC通過控制傳輸機構驅動馬達的速度和時間控制傳輸機構運行到定位位置，然后，啟動氣缸由活動定位塊和固定定位塊的配合保障傳輸機構的精準定位。

氣缸直接固定在密封座上通過雙層或多層油封密封的方式來保證整個裝置在運動過程中的密封性要求，靠近真空側一端密封座內部安裝導向套用以保證氣缸的直線度要求，在真空室內部相應位置安裝導向座確保活動定位塊能上下靈活移動而不會左右晃動，固定固定塊通過腰型孔及螺栓固定在固定座上，可彌補在裝配過程中產生的誤差。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

為了便于理解本實用新型，下文將結合說明書附圖和較佳的實施例對本實用新型作更全面、細致地描述，但本實用新型的保護范圍并不限于以下具體的實施例。

如圖1所示，本實施例的一種真空室內傳輸機構定位裝置，包括傳輸機構9、傳輸機構驅動馬達、PLC，PLC通過控制傳輸機構驅動馬達的速度和時間定位傳輸機構的位置，在定位位置處的真空室箱體上設有通孔，氣缸1通過密封座2固定在通孔處，氣缸1與密封座2之間通過雙層或多層油封6密封，在靠近真空側一端密封座內部安裝有導向套3，氣缸的活塞桿沿導向套移動，在活塞桿末端安裝有活動定位塊4，在真空室內壁上安裝有導向座7，所述活動定位塊4沿導向座7移動，活動定位塊4上設有倒V型凸起，固定定位塊5通過固定座8安裝在傳輸機構9上，固定定位塊5與固定座8之間通過螺栓連接，設置在固定固定塊5上的螺栓孔為腰型孔，固定定位塊5上設有與倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制氣缸動作。