[實用新型]一種真空室內(nèi)傳輸機構(gòu)定位裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822106101.3 | 申請日： | 2018-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN209456560U | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 舒逸;劉光斗;李贊 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖南玉豐真空科學技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 傳輸機構(gòu) 氣缸 固定定位塊 活動定位塊 定位裝置 倒V型 本實用新型 定位位置 室內(nèi)傳輸 導向套 真空室 通孔 凸起 活塞桿末端 機構(gòu)驅(qū)動 精準定位 控制傳輸 內(nèi)部安裝 氣缸動作 驅(qū)動馬達 一端密封 定位槽 活塞桿 密封座 馬達 匹配 移動 配合 保證 | ||
1.一種真空室內(nèi)傳輸機構(gòu)定位裝置，包括傳輸機構(gòu)、傳輸機構(gòu)驅(qū)動馬達、PLC，PLC通過控制傳輸機構(gòu)驅(qū)動馬達的速度和時間定位傳輸機構(gòu)的位置，其特征在于：在定位位置處的真空室箱體上設(shè)有通孔，氣缸通過密封座固定在通孔處，在靠近真空側(cè)一端密封座內(nèi)部安裝有導向套，氣缸的活塞桿沿導向套移動，在活塞桿末端安裝有活動定位塊，活動定位塊上設(shè)有倒V型凸起，傳輸機構(gòu)上安裝有固定定位塊，固定定位塊上設(shè)有與倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制氣缸動作。
2.如權(quán)利要求1所述的一種真空室內(nèi)傳輸機構(gòu)定位裝置，其特征在于：在真空室內(nèi)壁上安裝有導向座，所述活動定位塊沿導向座移動。
3.如權(quán)利要求1所述的一種真空室內(nèi)傳輸機構(gòu)定位裝置，其特征在于：所述氣缸與密封座之間通過雙層或多層油封密封。
4.如權(quán)利要求1所述的一種真空室內(nèi)傳輸機構(gòu)定位裝置，其特征在于：所述固定定位塊通過固定座安裝在傳輸機構(gòu)上，固定定位塊與固定座之間通過螺栓連接，設(shè)置在固定固定塊上的螺栓孔為腰型孔。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于湖南玉豐真空科學技術(shù)有限公司，未經(jīng)湖南玉豐真空科學技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201822106101.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
