[實用新型]一種指向性MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201822103575.2 | 申請日： | 2018-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN209072736U | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發明（設計）人： | 袁兆斌;王友 | 申請（專利權）人： | 歌爾股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲音通道 基板 容納腔 連通 指向性 頂壁 開孔 本實用新型 第二開孔 第二殼體 第一開孔 第一殼體 封裝結構 基板內部 殼體頂壁 殼體圍 背腔 殼體 指向 貫穿 | ||
1.一種指向性MEMS麥克風，其特征在于，包括：由基板和殼體圍成的具有容納腔的封裝結構；以及位于所述容納腔內且結合固定在所述基板上的MEMS芯片；
所述殼體包括第一殼體以及嵌套在第一殼體外的第二殼體，所述第一殼體頂壁與第二殼體頂壁之間形成有腔體空間；
所述殼體上包括有將所述容納腔與外界連通的第一聲孔；所述第一聲孔包括：由所述腔體空間構成的第一聲音通道；位于所述第二殼體的頂壁上且連通第一聲音通道與外界的第一開孔，位于所述第一殼體的頂壁上且連通第一聲音通道與容納腔的第二開孔；
所述基板上包括有將所述MEMS芯片的背腔與外界連通的第二聲孔；所述第二聲孔包括：形成于所述基板內部的第二聲音通道；位于所述第二聲音通道一端的且與所述MEMS芯片背腔對應連通的第三開孔；以及位于所述第二聲音通道另一端的且貫穿所述基板底面的第四開孔。
2.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述第一開孔的豎向投影與所述第二開孔的豎向投影不重疊。
3.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述第三開孔的豎向投影與所述第四開孔的豎向投影不重疊。
4.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述指向性MEMS麥克風還包括覆蓋所述第三開孔或所述第四開孔的阻尼片。
5.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述第三開孔由若干形成于所述基板上的微孔構成，或所述第四開孔由若干形成于所述基板上的微孔構成。
6.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述第一聲音通道與所述第二聲音通道的長度和/或形狀不相同。
7.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述指向性MEMS麥克風還包括位于所述容納腔內且結合固定在所述基板上的ASIC芯片。
8.根據權利要求7所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述MEMS芯片與所述ASIC芯片間通過金線通信連接；所述ASIC芯片與所述基板間通過金線通信連接。
9.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述殼體與所述基板之間通過膠體粘接或者錫膏焊接結合固定在一起。
10.根據權利要求1所述的指向性MEMS麥克風，其特征在于，所述第一殼體和所述第二殼體通過模具同時沖壓成型，且通過自然應力嵌套在一起。
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