[實用新型]一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置

有效

• 申請號: 201822100333.8
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN210381329U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 張元勝
• 申請（專利權）人: 深圳市悅目光學器件有限公司
• 主分類號: H05B3/06
• 分類號: H05B3/06;H05B3/02;F04F9/00;C23C14/56
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型公開了一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，包括固定殼體，所述固定殼體上端設置有加熱電阻盤，所述加熱電阻盤一側設置有鎖緊機構，且加熱電阻盤通過鎖緊機構與固定殼體固接，所述加熱電阻盤上方設置有DP真空鍍膜擴散泵，所述固定殼體下端設置有基座，所述基座通過螺栓與地面固定，且固定殼體內部設置有托頂機構；其中鎖緊機構包括扣鎖部和鎖緊部，所述扣鎖部固接在加熱電阻盤上端，所述鎖緊部固接在固定殼體上端。本實用新型通過在加熱電阻盤上設置新的鎖緊機構，鎖緊機構為門栓式夾鉗，將電阻盤固定在固定殼體側邊，無需降溫，工作人員帶上高溫手套即可操作，使維護時間大大縮短，使用壽命大大提高。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備技術領域，具體是一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置。

背景技術

真空鍍膜是真空應用領域的一個重要方面，它是以真空技術為基礎，利用物理或化學方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸發或濺射，使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。眾所周知，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜，就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學性能。20世紀70年代，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學鍍法。前者是通過通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上，因此這種鍍膜的條件，基體必須是電的良導體，而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學還原法，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應，這種鍍膜方法不僅薄膜的結合強度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時還會產生大量的廢液，造成嚴重的污染。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制。真空鍍膜則是相對于上述的濕式鍍膜方法而發展起來的一種新型鍍膜技術，通常稱為干式鍍膜技術

目前，在鍍膜行業中，原有加熱盤使用螺母固定，經過高溫后，加熱盤變形，螺母特別不易拆裝；且固定位置在DP真空鍍膜擴散泵底部，操作人員必須趴在DP真空鍍膜擴散泵下面才能拆下加熱盤。等待DP真空鍍膜擴散泵降溫到80度以下(降溫時間6-8小時)，更換一次時間長達12小時，不易維護。因此，本領域技術人員提供了一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，包括固定殼體，所述固定殼體上端設置有加熱電阻盤，所述加熱電阻盤一側設置有鎖緊機構，且加熱電阻盤通過鎖緊機構與固定殼體固接，所述加熱電阻盤上方設置有DP真空鍍膜擴散泵，所述固定殼體下端設置有基座，所述基座通過螺栓與地面固定，且固定殼體內部設置有托頂機構；

其中鎖緊機構包括扣鎖部和鎖緊部，所述扣鎖部固接在加熱電阻盤上端，所述鎖緊部固接在固定殼體上端。

作為本實用新型進一步的方案：所述扣鎖部包括固接在加熱電阻盤的第一固定板，所述第一固定板上端固接有卡板，所述卡板為L形，所述第一固定板和卡板之間形成卡槽。

作為本實用新型再進一步的方案：所述鎖緊部包括第二安裝板，所述第二安裝板上的垂直設置有第三安裝板，所述第三安裝板中間通過銷軸固接有按壓手柄，所述按壓手柄上貫穿設置有固定銷軸，所述固定銷軸兩端平行套設有兩個橫桿，所述兩個橫桿頂端固接有卡柱，所述卡柱與橫桿垂直，所述橫桿上設置有鎖緊螺栓。

作為本實用新型再進一步的方案：所述卡柱與卡板之間卡接配合。

作為本實用新型再進一步的方案：所述托頂機構包括安裝塊，所述安裝塊上端固接有氣缸，所述氣缸的活塞端上固接有托頂板，所述托頂板上方兩側設置有支桿，所述支桿固接在固定殼體內壁上。