[實用新型]一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置

有效

• 申請號: 201822100333.8
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN210381329U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 張元勝
• 申請（專利權）人: 深圳市悅目光學器件有限公司
• 主分類號: H05B3/06
• 分類號: H05B3/06;H05B3/02;F04F9/00;C23C14/56
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，包括固定殼體(1)，其特征在于，所述固定殼體(1)上端設置有加熱電阻盤(3)，所述加熱電阻盤(3)一側設置有鎖緊機構(5)，且加熱電阻盤(3)通過鎖緊機構(5)與固定殼體(1)固接，所述加熱電阻盤(3)上方設置有DP真空鍍膜擴散泵(4)，所述固定殼體(1)下端設置有基座(2)，所述基座(2)通過螺栓與地面固定，所述固定殼體(1)內部設置有托頂機構(6)；

其中鎖緊機構(5)包括扣鎖部(51)和鎖緊部(52)，所述扣鎖部(51)固接在加熱電阻盤(3)上端，所述鎖緊部(52)固接在固定殼體(1)上端。

2.根據權利要求1所述的一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述扣鎖部(51)包括固接在加熱電阻盤(3)上的第一固定板(512)，所述第一固定板(512)上端固接有卡板(511)，所述卡板(511)為L形，所述第一固定板(512)和卡板(511)之間形成卡槽。

3.根據權利要求2所述的一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述鎖緊部(52)包括第二安裝板(522)，所述第二安裝板(522)上的垂直設置有第三安裝板(523)，所述第三安裝板(523)中間通過銷軸固接有按壓手柄(524)，所述按壓手柄(524)上貫穿設置有固定銷軸(526)，所述固定銷軸(526)兩端平行套設有兩個橫桿(527)，所述兩個橫桿(527)頂端固接有卡柱(521)，所述卡柱(521)與橫桿(527)垂直，所述橫桿(527)上設置有鎖緊螺栓(525)。

4.根據權利要求3所述的一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述卡柱(521)與卡板(511)之間卡接配合。

5.根據權利要求1所述的一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述托頂機構(6)包括安裝塊(63)，所述安裝塊(63)上端固接有氣缸(62)，所述氣缸(62)的活塞端上固接有托頂板(61)，所述托頂板(61)上方兩側設置有支桿(64)，所述支桿(64)固接在固定殼體(1)內壁上。

6.根據權利要求1所述的一種方便安裝或更換的真空鍍膜擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述加熱電阻盤(3)表面涂有導熱層，所述導熱層為導熱硅膠，所述加熱電阻盤(3)上設置有若干散熱片(31)，所述散熱片(31)下方固接有安裝基板(32)，所述安裝基板(32)固接在加熱電阻盤(3)的外表面。