[實用新型]檢測裝置

有效

• 申請號: 201822086565.2
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN209311330U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 李青格樂;陳曉靜;方一;陳魯
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: G01N21/47
• 分類號: G01N21/47;G01N21/88
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 顏鏑

本公開涉及一種檢測裝置。檢測裝置包括：暗場線光源(30)，設置在具有至少一個彎曲檢測表面的待檢測物體(10)的一側，用于向所述彎曲檢測表面提供暗場探測光，所述彎曲檢測表面在第一彎曲方向上至少有兩個位置的法線不平行；和線探測器(20)，設置在所述待檢測物體(10)的靠近所述暗場線光源(30)的一側，用于采集所述暗場探測光在所述待檢測物體(10)表面的漫反射光或散射光；所述暗場線光源的出光面與所述線探測器(20)的鏡頭的光軸面平行或重合，且所述暗場線光源的出光面與所述彎曲檢測表面的法線不平行。本公開實施例能夠有效地實現彎曲表面的暗場檢測。

技術領域

本公開涉及檢測領域，尤其涉及一種檢測裝置。

背景技術

自動光學檢測(Automatic Optic Inspection，簡稱AOI)是基于光學原理對焊接生產中遇到的常見缺陷進行檢測的技術。在AOI中，按照收集信號光的來源可包括明場檢測和暗場檢測。這兩種檢測方式可針對于不同的缺陷實現不同的效果。其中，暗場檢測是通過探測待測物表面的散射光強度，來實現對待測物表面進行檢測的方法。暗場檢測對凸起等缺陷的檢測可實現更好的靈敏度。

目前主要是針對于平面的明場檢測和暗場檢測，對于具有曲面的物體來說，曲面弧度會造成反射光位置不同，因此給暗場檢測中的信號光收集增加了難度，致使目前尚缺乏對曲面進行暗場檢測的成熟方案。

發明內容

有鑒于此，本公開實施例提供一種檢測裝置，能夠有效地實現彎曲表面的暗場檢測。

在本公開的一個方面，提供一種檢測裝置，包括：

暗場線光源，設置在具有至少一個彎曲檢測表面的待檢測物體的一側，用于向所述彎曲檢測表面提供暗場探測光，所述彎曲檢測表面在第一彎曲方向上至少有兩個位置的法線不平行；和

線探測器，設置在所述待檢測物體的靠近所述暗場線光源的一側，用于采集所述暗場探測光在所述待檢測物體表面的漫反射光或散射光；

其中，所述暗場線光源的出光面與所述線探測器的鏡頭的光軸面平行或重合，且所述暗場線光源的出光面與所述彎曲檢測表面的法線不平行。

在一些實施例中，所述暗場線光源包括至少一個線激光器，能夠形成沿所述第一彎曲方向連續覆蓋所述彎曲檢測表面的檢測光斑，所述線探測器的探測區也沿所述第一彎曲方向連續覆蓋所述彎曲檢測表面。

在一些實施例中，所述暗場線光源和所述線探測器均被配置為相對于所述待檢測物體沿垂直于所述第一彎曲方向的方向運動。

在一些實施例中，所述彎曲檢測表面包括檢測平面和第一檢測表面，所述檢測平面與所述第一檢測表面連接，且所述第一檢測表面各點處的法線均與所述檢測平面不平行，所述至少一個線激光器包括分別位于所述線探測器的鏡頭兩側的第一線激光器和第二線激光器，所述第一線激光器在所述檢測平面和所述第一檢測表面上形成的線光斑與所述第二線激光器在所述檢測平面和所述第一檢測表面上形成的線光斑至少部分重合。

在一些實施例中，所述第一線激光器的軸線和所述第二線激光器的軸線之間呈0°～30°夾角。

在一些實施例中，所述檢測裝置還包括：

明場光源組件，用于向所述彎曲檢測表面提供探測光，所述線探測器還用于采集所述探測光在所述待檢測物體沿所述第一彎曲方向連續的表面的反射光。

在一些實施例中，所述明場光源組件提供的探測光和所述暗場線光源提供的暗場探測光的波長范圍不重合，所述線探測器被配置為分別對所述明場光源組件提供的探測光在所述待檢測物體表面的反射光和所述暗場線光源提供的暗場探測光在所述待檢測物體表面的漫反射光或散射光進行采集。