[實用新型]檢測裝置

有效

• 申請號: 201822086565.2
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN209311330U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 李青格樂;陳曉靜;方一;陳魯
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: G01N21/47
• 分類號: G01N21/47;G01N21/88
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 顏鏑

1.一種檢測裝置，其特征在于，包括：

暗場線光源(30)，設置在具有至少一個彎曲檢測表面的待檢測物體(10)的一側，用于向所述彎曲檢測表面提供暗場探測光，所述彎曲檢測表面在第一彎曲方向上至少有兩個位置的法線不平行；和

線探測器(20)，設置在所述待檢測物體(10)的靠近所述暗場線光源(30)的一側，用于采集所述暗場探測光在所述待檢測物體(10)表面的漫反射光或散射光；

其中，所述暗場線光源(30)的出光面與所述線探測器(20)的鏡頭的光軸面平行或重合，且所述暗場線光源(30)的出光面與所述彎曲檢測表面的法線不平行。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述暗場線光源(30)包括至少一個線激光器，能夠形成沿所述第一彎曲方向連續覆蓋所述彎曲檢測表面的檢測光斑，所述線探測器(20)的探測區也沿所述第一彎曲方向連續覆蓋所述彎曲檢測表面。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述暗場線光源(30)和所述線探測器(20)均被配置為相對于所述待檢測物體(10)沿垂直于所述第一彎曲方向的方向運動。

4.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述彎曲檢測表面包括檢測平面和第一檢測表面，所述檢測平面與所述第一檢測表面連接，且所述第一檢測表面各點處的法線均與所述檢測平面不平行，所述至少一個線激光器包括分別位于所述線探測器(20)的鏡頭兩側的第一線激光器(31)和第二線激光器(32)，所述第一線激光器(31)在所述檢測平面和所述第一檢測表面上形成的線光斑與所述第二線激光器(32)在所述檢測平面和所述第一檢測表面上形成的線光斑至少部分重合。

5.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一線激光器(31)的軸線和所述第二線激光器(32)的軸線之間呈0°～30°夾角。

6.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括：

明場光源組件，用于向所述彎曲檢測表面提供探測光，所述線探測器還用于采集所述探測光在所述待檢測物體(10)沿所述第一彎曲方向連續的表面的反射光。

7.根據權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述明場光源組件提供的探測光和所述暗場線光源(30)提供的暗場探測光的波長范圍不重合，所述線探測器(20)被配置為分別對所述明場光源組件提供的探測光在所述待檢測物體(10)表面的反射光和所述暗場線光源(30)提供的暗場探測光在所述待檢測物體(10)表面的漫反射光或散射光進行采集。

8.根據權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述彎曲檢測表面包括檢測平面、第一檢測表面和第二檢測表面，所述檢測平面與所述第一檢測表面和所述第二檢測表面連接，且所述第二檢測表面沿第二彎曲方向彎曲，所述第二彎曲方向與第一彎曲方向垂直，所述第一檢測表面各點處的法線和所述第二檢測表面的法線均與所述檢測平面的法線不平行；所述明場光源組件包括：

第一光源組件(40)，用于向所述檢測平面和所述第一檢測表面提供探測光；

第二光源組件(50)，設置在所述待檢測物體的靠近所述第二檢測表面的側方，用于向所述第二檢測表面提供側向探測光，以便所述線探測器采集所述側向探測光在沿所述第二彎曲方向連續的所述第二檢測表面的反射光。

9.根據權利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一光源組件(40)包括：

第一光源段，用于向所述檢測平面提供檢測光；和

第二光源段，與所述第一光源段連接，用于向所述第一檢測表面提供檢測光。

10.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測平面和所述第一檢測表面為鏡面。