[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822084704.8
• 申請(qǐng)日: 2018-12-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209199885U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌永康;杜良輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇壹度科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及車間用品技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，包括支撐架以及位于支撐架上方的水槽，支撐架的前后兩端頂部的邊緣處均設(shè)置有固定座，支撐架頂端設(shè)置有頂板，頂板頂面的左側(cè)位置處開(kāi)設(shè)有避空口，水槽搭接于頂板的頂面上，支撐架的頂部設(shè)置有起升裝置，起升裝置包括轉(zhuǎn)軸、三角塊以及連桿，三角塊上安裝有若干滾輪，該半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，通過(guò)設(shè)置的頂罩，防止清洗液到處濺射，通過(guò)設(shè)置在支撐架頂部的起升裝置方便了工作人員對(duì)水槽進(jìn)行挪動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及車間用品技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體技術(shù)是指半導(dǎo)體加工的各種技術(shù)，包括晶圓的生長(zhǎng)技術(shù)、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術(shù)和工藝整合等技術(shù)，在半導(dǎo)體的生產(chǎn)車間中，往往需要對(duì)加工的半導(dǎo)體零件進(jìn)行清理，以去除加工過(guò)程產(chǎn)生的各種污漬，目前多使用水槽桌對(duì)半導(dǎo)體零件進(jìn)行清理，水槽桌是安裝有水槽的桌子，在水槽桌中對(duì)半導(dǎo)體零件進(jìn)行清洗時(shí)，清洗液會(huì)到處濺射，影響工作環(huán)境，同時(shí)清洗半導(dǎo)體零件的清洗液需要進(jìn)行集中整理時(shí)需要將水槽連帶水槽內(nèi)的清洗液進(jìn)行整體更換，而裝有清洗液的水槽重量較重，工作人員不易進(jìn)行挪動(dòng)，鑒于此，我們提出一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，以解決上述背景技術(shù)中提出的對(duì)半導(dǎo)體零件進(jìn)行清洗時(shí)，清洗液會(huì)到處濺射，影響工作環(huán)境以及裝有清洗液的水槽重量較重，使工作人員不易進(jìn)行挪動(dòng)的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，包括支撐架以及位于所述支撐架上方的水槽，所述支撐架的前后兩端頂部的邊緣處均設(shè)置有固定座，所述支撐架頂端設(shè)置有頂板，所述頂板頂面的左側(cè)位置處開(kāi)設(shè)有避空口，所述水槽搭接于所述頂板的頂面上，所述支撐架的頂部設(shè)置有起升裝置；

所述起升裝置包括與所述固定座轉(zhuǎn)動(dòng)連接的轉(zhuǎn)軸、套接于所述轉(zhuǎn)軸上并與所述轉(zhuǎn)軸固定連接的若干三角塊以及安裝于所述轉(zhuǎn)軸前端的連桿，所述三角塊上安裝有若干滾輪。

優(yōu)選的，所述支撐架的頂端緊密焊接有加強(qiáng)桿，所述加強(qiáng)桿為兩個(gè)長(zhǎng)桿緊密焊接而成的十字形結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述頂板呈矩形板狀結(jié)構(gòu)，所述頂板頂端的四個(gè)邊緣處均緊密焊接有擋邊。

優(yōu)選的，所述頂板的頂端設(shè)置有頂罩，所述頂罩呈長(zhǎng)方體空心結(jié)構(gòu)，所述頂罩的左端位置處鉸接有一對(duì)罩門(mén)，所述罩門(mén)上安裝有把手，所述頂罩的頂端開(kāi)設(shè)有通孔。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)軸的末端依次從兩個(gè)所述固定座中穿過(guò)，所述轉(zhuǎn)軸的后端以及靠近所述轉(zhuǎn)軸前端的位置處均套接有擋圈，所述擋圈與所述轉(zhuǎn)軸緊密焊接，兩個(gè)所述擋圈之間的最小距離大于兩個(gè)所述固定座之間的最大距離。

優(yōu)選的，所述三角塊與所述轉(zhuǎn)軸緊密焊接，所述三角塊的側(cè)端面上開(kāi)設(shè)有安裝槽，所述滾輪安裝于所述安裝槽內(nèi)并與所述安裝槽轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述連桿前端面的邊緣處緊密焊接有橫桿。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1.該半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，通過(guò)設(shè)置在頂板上的頂罩將水槽罩在內(nèi)部，使半導(dǎo)體零件在清洗時(shí)可避免清洗液到處濺射，解決了對(duì)半導(dǎo)體零件進(jìn)行清洗時(shí)，清洗液會(huì)到處濺射，影響工作環(huán)境的問(wèn)題；

2.該半導(dǎo)體生產(chǎn)車間用水槽桌，通過(guò)設(shè)置在支撐架頂部的起升裝置，使搖動(dòng)連桿即可使?jié)L輪將水槽一側(cè)的底部抬起，并在滾輪的滾動(dòng)下方便工作人員將水槽從頂板上抽出，進(jìn)而將水槽進(jìn)行整體取下，解決了裝有清洗液的水槽重量較重，使工作人員不易進(jìn)行挪動(dòng)的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型中實(shí)施例1的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中實(shí)施例1的另一結(jié)構(gòu)示意圖；