[實用新型]一種半導體生產車間用水槽桌有效
| 申請號: | 201822084704.8 | 申請日: | 2018-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN209199885U | 公開(公告)日: | 2019-08-02 |
| 發明(設計)人: | 凌永康;杜良輝 | 申請(專利權)人: | 江蘇壹度科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 212400 江蘇省鎮*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 支撐架 半導體生產車間 水槽 起升裝置 用水槽 三角塊 用品技術領域 本實用新型 支撐架頂部 頂部設置 頂端設置 左側位置 邊緣處 固定座 清洗液 搭接 頂罩 滾輪 濺射 空口 挪動 轉軸 車間 | ||
1.一種半導體生產車間用水槽桌,包括支撐架(1)以及位于所述支撐架(1)上方的水槽(3),其特征在于:所述支撐架(1)的前后兩端頂部的邊緣處均設置有固定座(12),所述支撐架(1)頂端設置有頂板(2),所述頂板(2)頂面的左側位置處開設有避空口(22),所述水槽(3)搭接于所述頂板(2)的頂面上,所述支撐架(1)的頂部設置有起升裝置(5);
所述起升裝置(5)包括與所述固定座(12)轉動連接的轉軸(51)、套接于所述轉軸(51)上并與所述轉軸(51)固定連接的若干三角塊(52)以及安裝于所述轉軸(51)前端的連桿(53),所述三角塊(52)上安裝有若干滾輪(522)。
2.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述支撐架(1)的頂端緊密焊接有加強桿(11),所述加強桿(11)為兩個長桿緊密焊接而成的十字形結構。
3.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述頂板(2)呈矩形板狀結構,所述頂板(2)頂端的四個邊緣處均緊密焊接有擋邊(21)。
4.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述頂板(2)的頂端設置有頂罩(4),所述頂罩(4)呈長方體空心結構,所述頂罩(4)的左端位置處鉸接有一對罩門(41),所述罩門(41)上安裝有把手(411),所述頂罩(4)的頂端開設有通孔(42)。
5.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述轉軸(51)的末端依次從兩個所述固定座(12)中穿過,所述轉軸(51)的后端以及靠近所述轉軸(51)前端的位置處均套接有擋圈(511),所述擋圈(511)與所述轉軸(51)緊密焊接,兩個所述擋圈(511)之間的最小距離大于兩個所述固定座(12)之間的最大距離。
6.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述三角塊(52)與所述轉軸(51)緊密焊接,所述三角塊(52)的側端面上開設有安裝槽(521),所述滾輪(522)安裝于所述安裝槽(521)內并與所述安裝槽(521)轉動連接。
7.根據權利要求1所述的半導體生產車間用水槽桌,其特征在于:所述連桿(53)前端面的邊緣處緊密焊接有橫桿(531)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





