[實用新型]一種負壓吸附臺面有效
| 申請號: | 201822078119.7 | 申請日: | 2018-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN209344053U | 公開(公告)日: | 2019-09-03 |
| 發明(設計)人: | 朱治友;彭侃 | 申請(專利權)人: | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18;B26D7/01 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 黃志華 |
| 地址: | 100176 北京市大興區經*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 凹槽結構 基板 負壓吸附 臺面 通孔 吸附 本實用新型 基板支承 薄膜 薄膜太陽能電池 太陽能電池 薄膜邊緣 負壓通道 生產技術 真空吸附 整片薄膜 支承薄膜 支承面 負壓 翹起 連通 變形 開口 平整 保證 貫穿 | ||
本實用新型涉及薄膜太陽能電池生產技術領域,公開了一種負壓吸附臺面,包括:基板,所述基板具有用于支承薄膜太陽能電池的支承面;開口位于所述基板支承面上的凹槽結構;與所述凹槽結構連通、且貫穿所述基板的通孔。本實用新型提供的負壓吸附臺面,利用基板支承所要吸附的薄膜,當通孔接向負壓時,凹槽結構與通孔形成負壓通道,由于凹槽結構位于布局于整個基板,整片薄膜吸附時,吸附的面積較大,能夠防止薄膜的輕微變形,保持其平整,有利于保證定位精度;同時也大大減少了薄膜邊緣翹起的情況,保證了真空吸附的強度。
技術領域
本實用新型涉及薄膜太陽能電池生產技術領域,特別涉及一種負壓吸附臺面。
背景技術
在薄膜太陽能電池組件制作過程中,利用真空吸附的方式固定薄膜太陽能電池組件的裝卡方式幾乎貫穿整個制作工藝過程,是電池芯片組裝、邊緣裁切等工序中所必不可少的一部分,而且對于薄膜太陽能電池成品的良品率起到關鍵作用。
無論是薄膜太陽能電池芯片還是封裝薄膜,在對電池芯片組裝或是邊緣裁切時,為了確保材料在組裝或裁剪時的精度,避免材料在裁剪時被刀具帶動或者敷設后移位,需要對材料進行定位。鑒于薄膜的柔性超薄的特點,目前的做法是通過真空吸附對薄膜材料進行定位。
但是,由于薄膜的柔性程度限制,吸附時薄膜會微變形,從而變得不平整,一方面造成了組裝或裁切精度下降,另一方面薄膜邊緣存在翹起的情況降低真空吸附的吸力下降,使得定位失效。
實用新型內容
本實用新型提供了一種負壓吸附臺面,用于薄膜太陽能電池生產定位,保證定位準確。
為達到上述目的,本實用新型提供以下技術方案:
基板,所述基板具有用于支承薄膜太陽能電池的支承面;
開口位于所述基板支承面上的凹槽結構;
與所述凹槽結構連通、且貫穿所述基板的通孔。
優選地,所述凹槽結構包括多個凹槽,各所述凹槽相互獨立,且每一個所述凹槽與至少一個所述通孔連通。
優選地,各所述凹槽為環形結構,且將所述基板分為多個互相不連通的區域。
優選地,至少一部分所述凹槽圍成區域內部的所述基板上開設有連通槽,所述連通槽的至少一端與所述凹槽連通。
優選地,所述通孔位于所述連通槽的底部。
優選地,所述連通槽兩端與所述凹槽連通,所述通孔位于所述連通槽底部的中心位置。
優選地,所述連通槽將所述凹槽圍成區域內部的所述基板均勻分成兩個部分。
優選地,所述通孔位于所述凹槽的底部。
優選地,所述凹槽的個數為8。
優選地,所述通孔的孔徑內設有濾網。
上述負壓吸附臺面,使用基板作為支承薄膜太陽能電池的支承面,通過設置貫穿基板的通孔,在通孔接向負壓之后,由于凹槽結構與通孔連通,使得凹槽結構處于負壓的狀態,由此將薄膜吸附。由于凹槽結構位于整個基板,吸附的面積較大,能夠防止薄膜的輕微變形,保持其平整,有利于保證定位精度;同時還能保證薄膜邊緣也能接觸到凹槽結構,大大減少了薄膜邊緣翹起的情況,保證了真空吸附的強度,保證定位精準。
因此,本實用新型提供的負壓吸附臺面通過設置環形凹槽和通孔形成的負壓通道,保證薄膜太陽能電池吸附時薄膜的平整和定位的精準。
附圖說明
圖1為本申請負壓吸附臺面的結構示意圖;
圖中:
1-基板;2-凹槽;3-通孔;4-連通槽。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





