[實用新型]一種負壓吸附臺面

有效

• 申請號: 201822078119.7
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209344053U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 朱治友;彭侃
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L31/18;B26D7/01
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種負壓吸附臺面，其特征在于，包括：

基板，所述基板具有用于支承薄膜太陽能電池的支承面；

開口位于所述基板支承面上的凹槽結構；

與所述凹槽結構連通、且貫穿所述基板的通孔；

至少一部分所述凹槽圍成區域內部的所述基板上開設有連通槽，所述連通槽的至少一端與所述凹槽連通；

所述通孔位于所述連通槽的底部。

2.根據權利要求1所述的負壓吸附臺面，其特征在于，所述凹槽結構包括多個凹槽，各所述凹槽相互獨立，且每一個所述凹槽與至少一個所述通孔連通。

3.根據權利要求2所述的負壓吸附臺面，其特征在于，各所述凹槽為環形結構，且將所述基板分為多個互相不連通的區域。

4.根據權利要求1所述的負壓吸附臺面，其特征值在于，所述連通槽兩端與所述凹槽連通，所述通孔位于所述連通槽底部的中心位置。

5.根據權利要求4所述的負壓吸附臺面，其特征在于，所述連通槽將所述凹槽圍成區域內部的所述基板均勻分成兩個部分。

6.根據權利要求2所述的負壓吸附臺面，其特征在于，所述通孔位于所述凹槽的底部。

7.根據權利要求2所述的負壓吸附臺面，其特征在于，所述凹槽的個數為8。

8.根據權利要求1-7任一項所述的負壓吸附臺面，其特征在于，所述通孔的孔徑內設有濾網。