[實用新型]一種透明靜電吸盤

有效

• 申請號: 201822072469.2
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209375129U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 劉斌
• 申請（專利權）人: 廣東海拓創新精密設備科技有限公司
• 主分類號: H02H9/04
• 分類號: H02H9/04
• 代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙) 11210
• 代理人: 田磊

1.一種透明靜電吸盤，其特征在于，包括透明絕緣基板（1），所述透明絕緣基板（1）的一側固定連接有透明絕緣蓋板（2），所述透明絕緣基板（1）與所述透明絕緣蓋板（2）之間固設有鍍膜電極（11），所述鍍膜電極（11）通過FPC柔性電路（3）連接有高壓端子（5），所述透明絕緣蓋板（2）固定連接有若干固定座（6），所述固定座（6）固定連接有第一安裝法蘭（7），所述第一安裝法蘭（7）通過緩沖桿（8）固定連接有第二安裝法蘭（9）。

2.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述透明絕緣基板（1）由透明非金屬絕緣材料制成，所述透明非金屬絕緣材料為光學玻璃、石英玻璃、亞克力或PET。

3.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述鍍膜電極（11）包括基材和真空鍍膜，所述基材的材質為氧化銦錫、二氧化錫摻氟或氧化鋅鋁，所述真空鍍膜的材質為ITO、FTO或AZO。

4.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述透明絕緣蓋板（2）由透明非金屬絕緣材料制成，所述透明非金屬絕緣材料為光學玻璃、石英玻璃、亞克力或PET。

5.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述透明絕緣蓋板（2）分別與透明絕緣基板（1）和鍍膜電極（11）相接觸。

6.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述透明絕緣基板（1）通過高透明絕緣粘合劑（12）連接所述鍍膜電極（11）和所述透明絕緣蓋板（2）。

7.根據權利要求1所述的透明靜電吸盤，其特征在于，所述高壓端子（5）固設在FPC安裝座（4）上，所述FPC安裝座（4）連接所述FPC柔性電路（3），所述FPC安裝座（4）與所述透明絕緣蓋板（2）固定連接。