[實用新型]一種真空腔室與一種觀察窗

有效

• 申請號: 201822072403.3
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209537618U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 楊濤;王燁;吳國發
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/56;C23C14/34
• 代理公司: 北京清源匯知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11644
• 代理人: 馮德魁;竇曉慧

1.一種真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包括觀察窗，所述觀察窗安置于所述真空腔室的濺射系統區域，用于實時觀察濺射系統區域的輝光放電；

在所述觀察窗靠近所述真空腔室的一側設有擋片，所述擋片通過旋動手柄與所述觀察窗外側相連，所述擋片通過所述旋動手柄旋轉角度調整對所述觀察窗的遮擋程度。

2.根據權利要求1所述的真空腔室，其特征在于，在所述擋片上安裝有溫度檢測裝置，所述溫度檢測裝置用于對所述真空腔室進行溫度的實時監測。

3.根據權利要求2所述的真空腔室，其特征在于，所述溫度檢測裝置安裝在所述擋片靠近所述觀察窗的一側。

4.根據權利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述觀察窗與所述濺射系統區域的接口處通過焊接密封處理。

5.根據權利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述觀察窗上安置有觀察窗片，所述觀察窗片與所述擋片均為圓形，其中，所述觀察窗片所在的圓形孔道的內徑不小于所述擋片的直徑，所述觀察窗片的直徑不大于所述擋片的直徑。

6.根據權利要求5所述的真空腔室，其特征在于，還包括螺絲與膠圈，所述觀察窗片通過所述螺絲與所述膠圈安置在所述觀察窗上。

7.根據權利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述旋動手柄設置于所述真空腔室的外部，所述旋動手柄通過旋轉軸與所述擋片相連，所述旋轉軸一端通過焊接連接在所述擋片底部，所述旋轉軸的另外一端連接在所述旋動手柄上；

其中，當所述旋動手柄通過所述旋轉軸將所述擋片旋轉至完全豎直時，所述擋片完全遮擋所述觀察窗的觀察窗片，當所述旋動手柄通過所述旋轉軸將所述擋片旋轉至完全水平時，所述擋片完全不遮擋所述觀察窗的觀察窗片。

8.根據權利要求7所述的真空腔室，其特征在于，還包括安置在所述旋動手柄上的按鈕，所述按鈕用于控制所述旋動手柄的固定狀態與活動狀態。

9.根據權利要求7所述的真空腔室，其特征在于，所述擋片為不銹鋼材質，所述觀察窗片為鋼化玻璃。

10.一種觀察窗，其特征在于，包括：擋片，旋動手柄，溫度檢測裝置，觀察窗片；

所述觀察窗設置有所述觀察窗片，所述觀察窗片用于觀察所述觀察窗所安置的環境的內部；

在所述觀察窗片的一側設置所述擋片，所述擋片通過所述旋動手柄旋轉角度調整對所述觀察窗的遮擋程度；

在所述擋片一側安裝有所述溫度檢測裝置，所述溫度檢測裝置用于對所述觀察窗所安置的環境的內部進行溫度的實時監測。