[實用新型]一種真空腔室與一種觀察窗

有效

• 申請號: 201822072403.3
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209537618U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 楊濤;王燁;吳國發
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/56;C23C14/34
• 代理公司: 北京清源匯知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11644
• 代理人: 馮德魁;竇曉慧

本申請提供一種真空腔室，所述真空腔室包括觀察窗，所述觀察窗安置于所述真空腔室的濺射系統區域，用于實時觀察濺射系統區域的輝光放電；在所述觀察窗靠近所述真空腔室的一側設有擋片，所述擋片通過旋動手柄與所述觀察窗外側相連，所述擋片通過所述旋動手柄旋轉角度調整對所述觀察窗的遮擋程度。本申請真空腔室的觀察窗設置于濺射系統區域，觀察窗的安裝位置適合觀察者清楚觀察濺射系統區域的輝光放電情況，同時在不需要觀察時，采用擋片將所述觀察窗擋住，防止濺射系統區域對觀察窗鍍膜，同時還能減少因輝光放電對人體的傷害。

技術領域

本申請涉及真空鍍膜技術領域，具體涉及一種真空腔室與一種觀察窗。

背景技術

真空腔室在生產加工中應用較為廣泛，其應用領域主要是將需要在真空條件生產或者處理的工藝在真空腔室內部進行，一般在真空腔室都會設計有觀察窗，用以實時觀察真空腔室內部的工藝進程或者處理過程，從而及時發現在加工過程中的問題。

現有的真空腔室觀察窗主要是設計在真空腔室上部的卷繞區域，這樣設計能夠有效減少真空腔室的下部的濺射系統區域將觀察窗的透明觀察窗片鍍膜的問題，這是由于如果觀察窗的透明觀察窗片一旦被鍍膜，就不能通過觀察窗觀察濺射系統區域的輝光放電情況，但是這樣將觀察窗設計在真空腔室上部的卷繞區域，一方面觀察窗位置過高不利于觀察者觀察，另一方面觀察窗距離濺射系統區域較遠，不能清晰觀察到濺射系統區域的輝光放電情況。

實用新型內容

本申請提供一種真空腔室與一種觀察窗，以解決現有真空腔室的觀察窗不便于觀察真空腔室內部濺射系統區域的輝光放電情況的缺陷。

本申請提供一種真空腔室，所述真空腔室包括觀察窗，所述觀察窗安置于所述真空腔室的濺射系統區域，用于實時觀察濺射系統區域的輝光放電；

在所述觀察窗靠近所述真空腔室的一側設有擋片，所述擋片通過旋動手柄與所述觀察窗外側相連，所述擋片通過所述旋動手柄旋轉角度調整對所述觀察窗的遮擋程度。

可選的，在所述擋片上安裝有溫度檢測裝置，所述溫度檢測裝置用于對所述真空腔室進行溫度的實時監測。

可選的，所述溫度檢測裝置安裝在所述擋片靠近所述觀察窗的一側。

可選的，所述觀察窗與所述濺射系統區域的接口處通過焊接密封處理。

可選的，所述觀察窗上安置有觀察窗片，所述觀察窗片與所述擋片均為圓形，其中，所述觀察窗片所在的圓形孔道的內徑不小于所述擋片的直徑，所述觀察窗片的直徑不大于所述擋片的直徑。

可選的，還包括螺絲與膠圈，所述觀察窗片通過所述螺絲與所述膠圈安置在所述觀察窗上。

可選的，所述旋動手柄設置于所述真空腔室的外部，所述旋動手柄通過旋轉軸與所述擋片相連，所述旋轉軸一端通過焊接連接在所述擋片底部，所述旋轉軸的另外一端連接在所述旋動手柄上；

其中，當所述旋動手柄通過所述旋轉軸將所述擋片旋轉至完全豎直時，所述擋片完全遮擋所述觀察窗的觀察窗片，當所述旋動手柄通過所述旋轉軸將所述擋片旋轉至完全水平時，所述擋片完全不遮擋所述觀察窗的觀察窗片。

可選的，還包括安置在所述旋動手柄上的按鈕，所述按鈕用于控制所述旋動手柄的固定狀態與活動狀態。

可選的，所述擋片為不銹鋼材質，所述觀察窗片為鋼化玻璃。

本申請還提供一種觀察窗，包括：擋片，旋動手柄，溫度檢測裝置，觀察窗片；

所述觀察窗設置有所述觀察窗片，所述觀察窗片用于觀察所述觀察窗所安置的環境的內部；

在所述觀察窗片的一側設置所述擋片，所述擋片通過所述旋動手柄旋轉角度調整對所述觀察窗的遮擋程度；