[實用新型]一種靜電探針

有效

• 申請號: 201822067511.1
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN209562885U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 郭棟;劉敏勝;趙鑫
• 申請（專利權）人: 新奧科技發展有限公司
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本實用新型公開一種靜電探針，涉及等離子體診斷技術領域，用于在提高靜電探針的利用率的同時，減小等離子體檢測裝置的空間占用和結構復雜程度。該靜電探針包括：安裝在靜電探針的安裝部位上的至少一根調節桿；與所述至少一根調節桿活動連接的探頭底座；安裝在所述探頭底座上的至少一個導電探頭。本實用新型提供的靜電探針用于檢測等離子體特性。

技術領域

本實用新型涉及等離子體診斷技術領域，尤其涉及一種靜電探針。

背景技術

靜電探針(Langmuir Probe)是用來檢測等離子體特性的一種診斷工具，其通常包括一根細的金屬絲，該金屬絲中除靠近信號采集端的工作部分(長度大約為幾毫米)外，其余部分均被陶瓷或玻璃等材質的絕緣套包裹。在進行等離子體診斷時，需要將靜電探針中金屬絲的工作部分深入到等離子體中，等離子體會對該工作部分的電位造成影響，進而使靜電探針的伏安特性發生變化；然后根據靜電探針的伏安特性曲線，可以得出等離子體的電子溫度、電子密度和空間電位等參數。

在現有技術中，靜電探針分為固定式靜電探針和可伸縮式靜電探針。其中，固定式靜電探針是一種長度固定不變的靜電探針，當利用固定式靜電探針檢測等離子體特性時，需要將固定式靜電探針固定在等離子體腔室的內壁上，以獲取等離子體腔室內某一固定位置的等離子體特性。而可伸縮式靜電探針是則是一種長度可以調節的靜電探針，當利用可伸縮式靜電探針檢測等離子體特性時，可以通過推進系統來改變靜電探針深入到等離子腔室內的深度，這樣，可以測量等離子體腔室內不同位置的等離子體特性。

由于在現有技術中，固定式靜電探針只能檢測離子體腔室內某一固定位置的等離子體特性，因此單個固定式靜電探針的利用率較低。而現有的可伸縮式靜電探針，雖然能夠檢測等離子體腔室內多位置的等離子體特性，但是，由于其采用的推進系統通常包括伺服電機、變速機構、以及傳動機構等多個結構，且每個結構的體積也都很大，這導致等離子體檢測設備的整體體積龐大、機械結構復雜，進而導致可伸縮式靜電探針的應用場景受到限制。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種靜電探針，用于在提高靜電探針的利用率的同時，減小等離子體檢測裝置的空間占用和結構復雜程度。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本實用新型提供一種靜電探針，該靜電探針包括：安裝在靜電探針的安裝部位上的至少一根調節桿；與所述至少一根調節桿活動連接的探頭底座；以及安裝在所述探頭底座上的至少一個導電探頭；所述探頭底座設置有至少一個第一通孔，所述至少一根調節桿一一對應的穿過對應的所述第一通孔，所述探頭底座通過所述至少一個第一通孔與所述至少一根調節桿活動連接，且所述探頭底座能夠沿所述調節桿的軸向活動。

本實用新型提供的靜電探針中，導電探頭設置在探頭底座上，探頭底座設置有至少一個第一通孔，靜電探針的安裝部位上設置有至少一根調節桿，且調節桿一一對應的穿過對應的第一通孔；其中，由于探頭底座能夠通過第一通孔與調節桿活動連接，且探頭底座能夠沿調節桿的軸向移動，這樣可以改變導電探頭在等離子體腔室內的位置，從而使靜電探針能夠檢測等離子體腔室內多個位置的等離子體特性，提高了靜電探針的利用率。而且，在本實用新型提供的靜電探針中，不需要另外設置推進系統，即可改變導電探頭在等離子體腔室內的位置，因此，與現有的靜電探針相比，本實用新型提供的靜電探針能夠在提高靜電探針的利用率的同時，能夠從整體上減小等離子體檢測裝置的空間占用和結構復雜程度。

可選的，在一些實施例中，所述靜電探針還包括支撐底座，所述至少一個調節桿安裝在所述支撐底座上，并通過所述支撐底座安裝在所述靜電探針的安裝部位上。