[實(shí)用新型]一種靜電探針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822067511.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN209562885U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭棟;劉敏勝;趙鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新奧科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/00
• 分類號(hào): H05H1/00
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種靜電探針，其特征在于，包括：

安裝在靜電探針的安裝部位上的至少一根調(diào)節(jié)桿；

與所述至少一根調(diào)節(jié)桿活動(dòng)連接的探頭底座；

安裝在所述探頭底座上的至少一個(gè)導(dǎo)電探頭；

所述探頭底座設(shè)置有至少一個(gè)第一通孔，所述至少一根調(diào)節(jié)桿一一對(duì)應(yīng)的穿過對(duì)應(yīng)的所述第一通孔，所述探頭底座通過所述至少一個(gè)第一通孔與所述至少一根調(diào)節(jié)桿活動(dòng)連接，且所述探頭底座能夠沿所述調(diào)節(jié)桿的軸向活動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電探針，其特征在于，所述靜電探針還包括支撐底座，所述至少一個(gè)調(diào)節(jié)桿安裝在所述支撐底座上，并通過所述支撐底座安裝在所述靜電探針的安裝部位上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電探針，其特征在于，每個(gè)所述調(diào)節(jié)桿為螺紋桿，所述支撐底座上設(shè)置有與所述螺紋桿相配合的螺紋孔；

所述靜電探針還包括設(shè)置在所述螺紋桿上的限位部件，所述限位部件包括套設(shè)于每根所述螺紋桿上的至少一個(gè)第一螺母和至少一個(gè)第二螺母；

其中，每個(gè)所述第一螺母位于所述探頭底座的靠近所述支撐底座的一側(cè)，每個(gè)所述第二螺母位于所述探頭底座的遠(yuǎn)離所述支撐底座的一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電探針，其特征在于，所述第一通孔的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述第一通孔沿所述探頭底座的軸線的周向間隔布置；

所述螺紋孔的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述螺紋孔沿所述支撐底座的軸線的周向間隔布置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電探針，其特征在于，所述調(diào)節(jié)桿為螺紋桿，所述支撐底座設(shè)置有連接通孔，所述調(diào)節(jié)桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地穿設(shè)在所述第一通孔和所述連接通孔內(nèi)；

其中，所述連接通孔為與所述調(diào)節(jié)桿螺紋配合的螺紋孔，所述第一通孔為光孔；

或者，所述連接通孔為光孔，所述第一通孔為與所述調(diào)節(jié)桿螺紋配合的螺紋孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電探針，其特征在于，所述靜電探針還包括保護(hù)套管，所述保護(hù)套管套設(shè)于所述至少一根調(diào)節(jié)桿的外側(cè)，且所述保護(hù)套管設(shè)置在所述探頭底座與所述支撐底座之間；

所述探頭底座與所述保護(hù)套管同軸設(shè)置，且所述探頭底座的最大徑向尺寸小于或等于所述保護(hù)套管的內(nèi)徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的靜電探針，其特征在于，所述靜電探針還包括信號(hào)傳輸部件，所述信號(hào)傳輸部件的一端穿過所述保護(hù)套管與所述導(dǎo)電探頭的靠近所述支撐底座的一端連接，所述信號(hào)傳輸部件的另一端安裝在所述支撐底座上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靜電探針，其特征在于，所述信號(hào)傳輸部件包括：

信號(hào)線，所述信號(hào)線的一端穿過所述保護(hù)套管與所述導(dǎo)電探頭的靠近所述支撐底座的一端連接；

與所述信號(hào)線的另一端連接的航空插頭，所述航空插頭包括與所述信號(hào)線的另一端連接的航空插頭母座，以及與所述航空插頭母頭配合且安裝在所述支撐底座上的航空插頭公座。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電探針，其特征在于，每個(gè)所述導(dǎo)電探頭包括耐高溫絕緣管，以及穿設(shè)在所述耐高溫絕緣管中的多根導(dǎo)電絲；所述多根導(dǎo)電絲相互絕緣，且所述多根導(dǎo)電絲的遠(yuǎn)離所述靜電探針的安裝部位的一端作為等離子體信號(hào)采集端伸出所述絕緣管；所述探頭底座上設(shè)置有第二通孔，所述耐高溫絕緣套穿過所述第二通孔，并與所述探頭底座連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的靜電探針，其特征在于，所述耐高溫絕緣管為蜂窩管，所述蜂窩管包括與所述耐高溫絕緣管的軸線平行的多個(gè)通道，所述多根導(dǎo)電絲一一對(duì)應(yīng)的穿設(shè)在所述多個(gè)通道中。