[實(shí)用新型]晶片電性測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822061610.9
• 申請(qǐng)日: 2018-12-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209327514U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡泰祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 元茂光電科技（武漢）有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶片電性測(cè)量裝置，包括吸附平臺(tái)、真空控制閥、導(dǎo)管及點(diǎn)測(cè)探頭；吸附平臺(tái)包括下槽體和上閉合板；下槽體側(cè)壁設(shè)有真空通孔；上閉合板蓋設(shè)于下槽體上端使吸附平臺(tái)形成密封盒體結(jié)構(gòu)，上閉合板設(shè)有多個(gè)通氣孔；真空控制閥通過(guò)導(dǎo)管與所述真空通孔連通，且真空控制閥通過(guò)另一導(dǎo)管與真空發(fā)生裝置連通。本實(shí)用新型提出的晶片電性測(cè)量裝置，通過(guò)吸附平臺(tái)實(shí)現(xiàn)真空負(fù)壓以吸附待測(cè)晶圓片，使晶圓片無(wú)法滑動(dòng)，有效提高了點(diǎn)測(cè)效率；通過(guò)滑臺(tái)的作用，方便改變晶圓片電極對(duì)位方式，提高作業(yè)效率；通過(guò)真空控制閥的作用，晶圓片的取放更方便；且整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造和使用成本低，更易于推廣運(yùn)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶片測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體地涉及一種晶片電性測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)晶片(晶圓片)的電性測(cè)量方式通常是將晶片放置于PVC板上，測(cè)量晶片上下左中右(五點(diǎn))電性時(shí)需不斷用手推動(dòng)PVC至合適位置進(jìn)行測(cè)量；這種缺陷在于芯粒電極較小，用手調(diào)整，極難保證電極與探針位置重合；晶圓片放置于PVC上，較易滑動(dòng)，點(diǎn)測(cè)時(shí)無(wú)法保證有效點(diǎn)測(cè)。另外，市場(chǎng)上還出現(xiàn)有一種采用靜電卡盤的測(cè)量裝置，利用靜電卡盤將晶片吸附固定以完成測(cè)量，但由于靜電卡盤價(jià)格高昂，維護(hù)使用成本高，難以推廣。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型提出了一種晶片電性測(cè)量裝置，包括吸附平臺(tái)、真空控制閥、導(dǎo)管及點(diǎn)測(cè)探頭；

所述吸附平臺(tái)包括下槽體和上閉合板；所述下槽體為上端敞口的盒體結(jié)構(gòu)，其側(cè)壁設(shè)有真空通孔；所述上閉合板蓋設(shè)于所述下槽體上端使吸附平臺(tái)形成密封盒體結(jié)構(gòu)，所述上閉合板設(shè)有多個(gè)通氣孔；

所述真空控制閥通過(guò)導(dǎo)管與所述真空通孔連通，且所述真空控制閥通過(guò)另一導(dǎo)管與真空發(fā)生裝置連通；

所述點(diǎn)測(cè)探頭設(shè)于所述吸附平臺(tái)上方。

進(jìn)一步，還包括滑臺(tái)；所述滑臺(tái)包括平板和滑塊導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)；所述平板設(shè)于所述吸附平臺(tái)下方；所述滑塊導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)設(shè)于平板下方用于驅(qū)動(dòng)平板在水平面內(nèi)做橫向移動(dòng)和/或縱向移動(dòng)。

進(jìn)一步，所述滑臺(tái)還包括調(diào)節(jié)旋鈕；所述滑塊導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括絲桿和滑塊；所述調(diào)節(jié)旋鈕設(shè)于所述絲桿末端用于旋轉(zhuǎn)絲桿以驅(qū)動(dòng)滑塊移動(dòng)；所述滑塊與平板連接。

進(jìn)一步，所述上閉合板與下槽體通過(guò)粘膠劑密封連接。

進(jìn)一步，所述真空控制閥包括出氣孔、排氣孔、進(jìn)氣孔和真空閥旋鈕；所述出氣孔通過(guò)導(dǎo)管與真空發(fā)生裝置連通；所述排氣孔通過(guò)另一導(dǎo)管與真空通孔連通；所述進(jìn)氣孔與外部連通；所述真空閥旋鈕用于控制出氣孔、排氣孔和進(jìn)氣孔的開(kāi)閉。

進(jìn)一步，所述下槽體內(nèi)還設(shè)有豎直的支撐筋；所述支撐筋上端與所述上閉合板連接或抵接。

本實(shí)用新型提出的晶片電性測(cè)量裝置，通過(guò)吸附平臺(tái)實(shí)現(xiàn)真空負(fù)壓以吸附待測(cè)晶圓片，使晶圓片無(wú)法滑動(dòng)，有效提高了點(diǎn)測(cè)效率；通過(guò)滑臺(tái)的作用，方便改變晶圓片電極對(duì)位方式，提高作業(yè)效率；通過(guò)真空控制閥的作用，晶圓片的取放更方便；且整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造和使用成本低，更易于推廣運(yùn)用。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型晶片電性測(cè)量裝置的吸附平臺(tái)上設(shè)有晶圓片后的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型晶片電性測(cè)量裝置的下槽體的俯視立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型晶片電性測(cè)量裝置的上閉合板的俯視立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖1的真空控制閥的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖4的左視結(jié)構(gòu)示意圖；