[實用新型]一種探針臺用探針卡固定機構

有效

• 申請號: 201822051611.5
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN209387694U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 彭勇
• 申請（專利權）人: 合肥市華達半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實用新型涉及半導體元件加工設備技術領域，具體涉及一種探針臺用探針卡固定機構，包括安裝架、頂板、支架、滑柱、夾爪、螺紋絲桿、連接板、傳動機構，傳動機構用于驅動螺紋絲桿轉動。本實用新型設置固定支架上的空缺部，使外部設備上的探針卡穿過空缺部，傳動機構驅動螺紋絲桿轉動，使兩個夾爪將探針卡進行卡緊，從而實現探針卡的快速固定，另外通過轉動蝸桿使兩個夾爪相對運動，取代傳統方式旋轉多個螺絲的方式，提高了操作效率，設置移動機構，通過轉動螺紋軸，使夾爪能夠豎直升降，從而適應不同型號探針卡進行固定。

技術領域

本實用新型涉及半導體元件加工設備技術領域，具體涉及一種探針臺用探針卡固定機構。

背景技術

目前市面上的探針測試臺具有夾持探針卡的固定組件，通過設置固定件，旋轉螺絲驅動固定件卡緊探針卡，每一次固定探針卡都需要進行螺絲的手動旋轉，操作過程麻煩并且緩慢，影響工作效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的問題，提供一種探針臺用探針卡固定機構，它可以實現快速固定探針卡，提高效率。

為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種探針臺用探針卡固定機構，其包括：

安裝架，所述安裝架底部外壁上設有空缺部；

頂板，所述頂板固接在安裝架頂部，其上設有連通至所述空缺部上的避空槽；

支架，所述支架設置在避空槽內且其長度方向橫跨空缺部，其由一個頂板及兩個側板組成；

滑柱，所述滑柱對應設有兩個，分別水平穿透所述支架兩側板且能自由滑動；

夾爪，所述夾爪對應連接在兩個滑柱上，其由豎直段及水平段組成；

螺紋絲桿，所述螺紋絲桿水平設置在支架上且與支架轉動連接，其由兩端螺紋旋向相反的第一螺紋段、第二螺紋段組成；

連接板，所述連接板設有兩個，其上端分別套設在第一螺紋段、第二螺紋段上且與第一螺紋段、第二螺紋段螺紋連接，其下端分別套接在所述滑柱上，所述螺紋絲桿轉動時，驅動兩個所述連接板相對運動；

傳動機構，所述傳動機構用于驅動螺紋絲桿轉動。

進一步地，所述傳動機構包括同軸固接在螺紋絲桿上的蝸輪、豎直穿透支架水平段且與支架轉動連接的蝸桿，所述蝸桿與蝸輪嚙合。

進一步地，所述蝸桿上設有轉動輪。

進一步地，還包括驅動兩個所述夾爪豎直移動的移動機構。

進一步地，所述移動機構包括豎直穿透夾爪并與夾爪轉動連接的螺紋軸，所述夾爪上沿螺紋軸長度方向開有供滑柱卡合的卡槽，所述螺紋軸穿透滑柱且與滑柱螺紋連接。

本實用新型的有益效果：設置固定支架上的空缺部，使外部設備上的探針卡穿過空缺部，傳動機構驅動螺紋絲桿轉動，使兩個夾爪將探針卡進行卡緊，從而實現探針卡的快速固定，另外通過轉動蝸桿使兩個夾爪相對運動，取代傳統方式旋轉多個螺絲的方式，提高了操作效率，設置移動機構，通過轉動螺紋軸，使夾爪能夠豎直升降，從而適應不同型號探針卡進行固定。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型使用狀態的結構示意圖；

附圖中，各標號所代表的部件如下：