[實用新型]一種探針臺用探針卡固定機構有效
| 申請號： | 201822051611.5 | 申請日： | 2018-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN209387694U | 公開（公告）日： | 2019-09-13 |
| 發明（設計）人： | 彭勇 | 申請（專利權）人： | 合肥市華達半導體有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/04 | 分類號： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區望江西路86*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針卡 夾爪 螺紋絲桿 本實用新型 固定機構 空缺部 探針臺 轉動 外部設備 半導體元件 轉動螺紋軸 驅動 操作效率 傳統方式 固定支架 加工設備 快速固定 豎直升降 移動機構 轉動蝸桿 安裝架 連接板 滑柱 卡緊 螺絲 支架 穿過 | ||
1.一種探針臺用探針卡固定機構，其特征在于，其包括：
安裝架(1)，所述安裝架(1)底部外壁上設有空缺部(2)；
頂板(3)，所述頂板(3)固接在安裝架(1)頂部，其上設有連通至所述空缺部(2)上的避空槽(4)；
支架(5)，所述支架(5)設置在避空槽(4)內且其長度方向橫跨空缺部(2)，其由一個頂板及兩個側板組成；
滑柱(6)，所述滑柱(6)對應設有兩個，分別水平穿透所述支架(5)兩側板且能自由滑動；
夾爪(7)，所述夾爪(7)對應連接在兩個滑柱(6)上，其由豎直段及水平段組成；
螺紋絲桿，所述螺紋絲桿水平設置在支架(5)上且與支架(5)轉動連接，其由兩端螺紋旋向相反的第一螺紋段(8)、第二螺紋段(9)組成；
連接板(10)，所述連接板(10)設有兩個，其上端分別套設在第一螺紋段(8)、第二螺紋段(9)上且與第一螺紋段(8)、第二螺紋段(9)螺紋連接，其下端分別套接在所述滑柱(6)上，所述螺紋絲桿轉動時，驅動兩個所述連接板(10)相對運動；
傳動機構，所述傳動機構用于驅動螺紋絲桿轉動。
2.根據權利要求1所述的一種探針臺用探針卡固定機構,其特征在于，所述傳動機構包括同軸固接在螺紋絲桿上的蝸輪(11)、豎直穿透支架(5)水平段且與支架(5)轉動連接的蝸桿(12)，所述蝸桿(12)與蝸輪(11)嚙合。
3.根據權利要求2所述的一種探針臺用探針卡固定機構,其特征在于，所述蝸桿(12)上設有轉動輪。
4.根據權利要求1所述的一種探針臺用探針卡固定機構,其特征在于，還包括驅動兩個所述夾爪(7)豎直移動的移動機構。
5.根據權利要求4所述的一種探針臺用探針卡固定機構,其特征在于，所述移動機構包括豎直穿透夾爪(7)并與夾爪(7)轉動連接的螺紋軸(13)，所述夾爪(7)上沿螺紋軸(13)長度方向開有供滑柱(6)卡合的卡槽(14)，所述螺紋軸(13)穿透滑柱(6)且與滑柱(6)螺紋連接。
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