[實用新型]一種新型氧化擴散爐系統用進氣管有效
| 申請號: | 201822048691.9 | 申請日: | 2018-12-07 |
| 公開(公告)號: | CN209508452U | 公開(公告)日: | 2019-10-18 |
| 發明(設計)人: | 張忠恕 | 申請(專利權)人: | 張忠恕 |
| 主分類號: | C30B31/16 | 分類號: | C30B31/16 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100000 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 通氣管 彎折 高壓進氣管 直通氣管 進氣 出氣端 氣體壓力 進氣管 擴散爐 連通 輸出氣體壓力 本實用新型 擴散 固定設置 前后連接 微量調節 大波動 進氣端 石英 膠接 外壁 開口 管制 | ||
【權利要求書】:
1.一種新型氧化擴散爐系統用進氣管,其特征在于:包括前后連接的彎折通氣管和直通氣管,所述彎折通氣管和直通氣管均由石英管制成,所述彎折通氣管與進氣端連接,所述直通氣管與出氣端連通,所述直通氣管靠近彎折通氣管的下方具有開口與高壓進氣管連通,所述高壓進氣管與彎折通氣管外壁通過膠接固定。
2.根據權利要求1所述的一種新型氧化擴散爐系統用進氣管,其特征在于:所述彎折通氣管上設置有固定用的乳白法蘭二,所述直通氣管的末端設置有固定用乳白法蘭一。
下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于張忠恕,未經張忠恕許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201822048691.9/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種高成品率晶體生長坩堝及裝置
- 下一篇:一種單晶降溫裝置





