[實用新型]一種LTCF帶通濾波器有效
| 申請號： | 201822048396.3 | 申請日： | 2018-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN209088035U | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發明（設計）人： | 邢孟江;代傳相;李元勛;李小珍;劉永紅 | 申請（專利權）人： | 邢孟江;代傳相 |
| 主分類號： | H01P1/20 | 分類號： | H01P1/20 |
| 代理公司： | 北京市盈科律師事務所 11344 | 代理人： | 羅東 |
| 地址： | 710000 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜電容 端口電極 鐵氧體電感層 共燒 本實用新型 帶通濾波器 薄膜工藝 通孔 電感 濾波器技術 諧振器耦合 帶通電路 導體連接 集總電路 接地電極 輸出電極 輸入電極 電容 電感量 高容量 | ||
1.一種LTCF帶通濾波器，其特征在于，包括端口電極層、第一薄膜電容層、共燒鐵氧體電感層和第二薄膜電容層，所述端口電極層導體連接第一薄膜電容層，第一薄膜電容層通過通孔連接共燒鐵氧體電感層，所述共燒鐵氧體電感層通過通孔連接第二薄膜電容層。
2.根據權利要求1所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述端口電極層包含輸入電極IN、輸出電極OUT、接地電極GND，所述端口電極層形成于第一薄膜電容層上。
3.根據權利要求1所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述第一薄膜電容層上還形成有薄膜電容C1和薄膜電容C2,所述第二薄膜電容層上形成有薄膜電容C3、薄膜電容C4、薄膜電容C5和薄膜電容C6。
4.根據權利要求3所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述第一薄膜電容層和第二薄膜電容層的氮化硅層的厚度為0.2μm，金屬導電層I和金屬導電層II的厚度均為5μm，氮化硅鈍化層的厚度為150um。
5.根據權利要求3所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述共燒鐵氧體電感層上形成有電感L1、電感L2、電感L3、電感L4，電感L1通過通孔和薄膜電容C1相連，電感L2通過通孔和薄膜電容C2相連，電感L3通過通孔和薄膜電容C3相連、電感L4通過通孔和薄膜電容C4相連。
6.根據權利要求5所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述電感L1、電感L2、電感L3、電感L4均為LTCF工藝的垂直螺旋電感。
7.根據權利要求1所述的LTCF帶通濾波器，其特征在于：所述第一薄膜電容層、共燒鐵氧體電感層和第二薄膜電容層上均設有接地端口GND，所述接地端口GND通過通孔和端口電極層的接地電極相連接。
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