[實用新型]一種機械手臂

有效

• 申請號: 201822034663.1
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209056470U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 易興
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種機械手臂，包括：承載部件，用于承載晶圓；若干壓力傳感器，成陣列分布于承載部件的表面，用以檢測晶圓于承載部件的表面的位置；上述技術方案能夠對運送的晶圓的情況進行監控，避免在運送晶圓的過程中因對晶圓位置的錯誤判斷造成晶圓損壞甚至報廢的情況。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種機械手臂。

背景技術

機械手臂在半導體自動化設備中應用十分廣泛。利用機械手臂，可以實現運送晶圓的自動化，能夠適應工業大批量的晶圓生產、加工要求。

但是，目前廣泛使用的機械手臂通常是通過卡簧或者真空來固定晶圓。針對晶圓的最終物理位置與目標位置是否有差異的情況，通常沒有實時監測的設備。在偏差較大的情況，如果發現不及時，很容易造成晶圓的損壞，嚴重時還可能造成晶圓報廢的情況。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提出了一種機械手臂，應用于運送晶圓；其中，包括：

承載部件，用于承載所述晶圓；

若干壓力傳感器，成陣列分布于所述承載部件的表面，用以檢測所述晶圓于所述承載部件的表面的位置。

優選的，該機械手臂，其中，機械手臂包括能夠在一個或多個維度上進行運動的運動機構，該運動機構與承載部件連接，能夠帶動承載部件將晶圓從初始位置運送至目標位置處；承載部件上設置有用于固定晶圓的固定結構。

優選的，該機械手臂，其中，每個所述壓力傳感器包括對應的感測點，還包括：

防腐蝕層，覆蓋每個所述壓力傳感器的感測點。

優選的，該機械手臂，其中，所述防腐蝕層為陶瓷材料。

優選的，該機械手臂，其中，還包括：

運動執行部件；

處理器，分別連接每個所述壓力傳感器；

控制器，分別連接所述處理器和所述運動執行部件。

優選的，該機械手臂，其中，所述運動執行部件為電機。

優選的，該機械手臂，其中，處理器可以接收并根據壓力傳感器采集的壓力信號的情況，分析得到晶圓在承載部件表面的姿態和/或坐標，若發現晶圓產生了傾斜，則可以發送相應的處理結果至控制器中，控制器此時可以根據處理結果對運動執行部件進行控制。

優選的，該機械手臂，其中，還包括存儲器，連接所述處理器，存儲用于衡量晶圓的坐標偏離程度的初始坐標參數，處理器將初始坐標參數從存儲器中讀取出來與晶圓的實際坐標相比較，從而得到晶圓的傾斜程度。

優選的，該機械手臂，其中，所述壓力傳感器為壓阻式壓力傳感器或微機械壓力傳感器。

優選的，該機械手臂，其中，所述壓力傳感器成4行9列排列。

有益效果：本實用新型提出的一種機械手臂，能夠對運送的晶圓的情況進行監控，避免在運送晶圓的過程中因對晶圓位置的錯誤判斷造成晶圓損壞甚至報廢的情況。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中機械手臂的結構原理圖；

圖2為本實用新型一實施例中機械手臂的俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進行進一步說明。

在一個較佳的實施例中，如圖1～2所示，提出了一種機械手臂，應用于運送晶圓；其中，可以包括：

承載部件10，用于承載晶圓；