[實用新型]一種機械手臂

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822034663.1
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209056470U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 易興
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種機械手臂，應(yīng)用于運送晶圓；其特征在于，包括：

承載部件，用于承載所述晶圓；

若干壓力傳感器，成陣列分布于所述承載部件的表面，用以檢測所述晶圓于所述承載部件的表面的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，機械手臂包括能夠在一個或多個維度上進(jìn)行運動的運動機構(gòu)，該運動機構(gòu)與承載部件連接，能夠帶動承載部件將晶圓從初始位置運送至目標(biāo)位置處；承載部件上設(shè)置有用于固定晶圓的固定結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，每個所述壓力傳感器包括對應(yīng)的感測點，還包括：

防腐蝕層，覆蓋每個所述壓力傳感器的感測點。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機械手臂，其特征在于，所述防腐蝕層為陶瓷材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，還包括：

運動執(zhí)行部件；

處理器，分別連接每個所述壓力傳感器；

控制器，分別連接所述處理器和所述運動執(zhí)行部件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機械手臂，其特征在于，所述運動執(zhí)行部件為電機。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機械手臂，其特征在于，處理器可以接收并根據(jù)壓力傳感器采集的壓力信號的情況，分析得到晶圓在承載部件表面的姿態(tài)和/或坐標(biāo)，若發(fā)現(xiàn)晶圓產(chǎn)生了傾斜，則可以發(fā)送相應(yīng)的處理結(jié)果至控制器中，控制器此時可以根據(jù)處理結(jié)果對運動執(zhí)行部件進(jìn)行控制。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機械手臂，其特征在于，還包括存儲器，連接所述處理器，存儲用于衡量晶圓的坐標(biāo)偏離程度的初始坐標(biāo)參數(shù)，處理器將初始坐標(biāo)參數(shù)從存儲器中讀取出來與晶圓的實際坐標(biāo)相比較，從而得到晶圓的傾斜程度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述壓力傳感器為壓阻式壓力傳感器或微機械壓力傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述壓力傳感器成4行9列排列。