[實用新型]一種可拆卸式陽極裝置

有效

• 申請號: 201822033756.2
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209323001U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 郎文昌;劉俊紅;杜昊
• 申請（專利權）人: 蘇州艾鈦科納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙) 11391
• 代理人: 薛峰;康正德

本實用新型提供了一種可拆卸式陽極裝置，涉及電弧離子鍍技術領域。其包括：若干個錐形陽極和陽極板主體；所述陽極板主體為平板狀形狀，所述陽極板主體的周側設置有翻邊；所述錐形陽極為固定連接在所述陽極板主體上的具有錐面的空心圓柱，所述錐形陽極的一端與所述陽極板主體連接，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒緊固連接。本實用新型提供了提供一種可拆卸式陽極裝置，以接收弧光放電中的電子，可以方便地對其進行拆卸，以便于對陽極的維護保養。

技術領域

本實用新型涉及電弧離子鍍技術領域，特別是涉及一種可拆卸式陽極裝置。

背景技術

多弧離子鍍膜技術是在真空條件下，通過控制電弧在靶材表面移動，來蒸發靶材金屬，并在基片上施加一個高偏壓，使得電弧蒸發出來的靶材粒子高速轟擊在基片上，形成薄膜的過程。由于靶材表面上的電弧是一個低電壓、大電流的直流電源來供給，所以本身只能維持電弧不能自發產生電弧，產生電弧的時候需要單獨的引弧結構。陽極的作用主要是接收弧光放電中的電子，沉積過程中沉積的涂層會在陽極表面沉積一些導電性差的材料，甚至造成陽極完全不導電，陽極缺失會造成放電穩定性差、局部陽極過熱灼燒，更甚者造成部分陽極部件的毀滅性毀壞。因而對于陽極的維護保養是一個很重要的工作。

目前的多弧離子鍍設備中通常直接將多弧離子鍍設備的腔室內壁作為一個整體式的陽極，以用于接收弧光放電中的電子，其存在陽極缺失的風險及維護保養困難的問題。

實用新型內容

本實用新型的一個目的是要提供一種可拆卸式陽極裝置，以接收弧光放電中的電子，可以方便地對其進行拆卸，以便于對陽極的維護保養。

本實用新型的另一個目的是要提供一種可拆卸式陽極裝置，減少了電子的運動行程，提高弧光放電時的放電穩定性。

特別地，本實用新型提供了一種可拆卸式陽極裝置，包括：若干個錐形陽極和陽極板主體；所述陽極板主體為平板狀形狀，所述陽極板主體的周側設置有翻邊；所述錐形陽極為固定連接在所述陽極板主體上的具有錐面的空心圓柱，所述錐形陽極的一端與所述陽極板主體連接，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒緊固連接。

可選地，所述陽極板主體上設置有若干個固定孔。

可選地，所述若干個錐形陽極均勻間隔設置。

可選地，所述陽極板主體為長方形。

可選地，所述陽極筒內安裝有用于陰極弧光放電的靶材和屏蔽罩；所述屏蔽罩包括喇叭口和屏蔽罩主體；所述屏蔽罩主體環繞封圍設置所述靶材的周邊，并與所述靶材具有預定間隙，所述喇叭口與所述屏蔽罩主體連接處設有伸出以覆蓋部分所述靶材的靶面的延伸部，所述延伸部與所述靶材的靶面間具有預定間隙。

可選地，所述錐面與所述喇叭口的內表面平行。

可選地，所述錐形陽極與所述陽極板主體連接的一端的內徑大于所述錐形陽極與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒連接的另一端的內徑。

可選地，所述翻邊為遠離所述電弧離子鍍設備的腔室內壁的方向。

可選地，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒之間為可拆卸式連接，所述所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒間為電接觸。

本實用新型提供的一種可拆卸式陽極裝置，其包括若干個錐形陽極和陽極板主體；所述陽極板主體為平板狀形狀，所述陽極板主體的周側設置有翻邊；所述錐形陽極為固定連接在所述陽極板主體上的具有錐面的空心圓柱，所述錐形陽極的一端與所述陽極板主體連接，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍設備的腔室內的陽極筒緊固連接。從而使得陽極裝置能夠快速拆卸，且電子一部分沉積在錐形陽極的錐面，一部分沉積在陽極板主體上，減少了電子的運動行程，有效地增大了陽極的有效面積，利于提高弧光放電時的放電的穩定性。