[實(shí)用新型]一種可拆卸式陽極裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822033756.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN209323001U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郎文昌;劉俊紅;杜昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州艾鈦科納米科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391
• 代理人: 薛峰;康正德

1.一種可拆卸式陽極裝置，其特征在于，包括：若干個(gè)錐形陽極和陽極板主體；所述陽極板主體為平板狀形狀，所述陽極板主體的周側(cè)設(shè)置有翻邊；所述錐形陽極為固定連接在所述陽極板主體上的具有錐面的空心圓柱，所述錐形陽極的一端與所述陽極板主體連接，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)的陽極筒緊固連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述陽極板主體上設(shè)置有若干個(gè)固定孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述若干個(gè)錐形陽極均勻間隔設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述陽極板主體為長方形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述陽極筒內(nèi)安裝有用于陰極弧光放電的靶材和屏蔽罩；所述屏蔽罩包括喇叭口和屏蔽罩主體；所述屏蔽罩主體環(huán)繞封圍設(shè)置所述靶材的周邊，并與所述靶材具有預(yù)定間隙，所述喇叭口與所述屏蔽罩主體連接處設(shè)有伸出以覆蓋部分所述靶材的靶面的延伸部，所述延伸部與所述靶材的靶面間具有預(yù)定間隙。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述錐面與所述喇叭口的內(nèi)表面平行。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述錐形陽極與所述陽極板主體連接的一端的內(nèi)徑大于所述錐形陽極與電弧離子鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)的陽極筒連接的另一端的內(nèi)徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述翻邊為遠(yuǎn)離所述電弧離子鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)壁的方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆卸式陽極裝置，其特征在于，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)的陽極筒之間為可拆卸式連接，所述錐形陽極的另一端與電弧離子鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)的陽極筒間為電接觸。