[實(shí)用新型]一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822025473.3
• 申請(qǐng)日: 2018-12-04
• 公開（公告）號(hào): CN209024639U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李海成;周國(guó)平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 保山隆基硅材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/24
• 分類號(hào): C23C16/24;C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 北京知迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628
• 代理人: 李博

本實(shí)用新型涉及一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置，包括下封氣盤、限氣筒、引氣管、上封氣盤，所述下封氣盤位于限氣筒的底部，上封氣盤位于限氣筒的頂部，所述上封氣盤的中心設(shè)有承孔，所述引氣管位于限氣筒內(nèi)部，所述引氣管頂部與上封氣盤的承孔間隙配合，所述引氣管上還設(shè)置若干氣孔。還包括若干碳纖維織物，所述若干碳纖維織物堆疊于限氣筒內(nèi)部，與所述下封氣盤、限氣筒、引氣管、上封氣盤同軸。本實(shí)用新型采用的設(shè)計(jì)使進(jìn)入限氣筒的氣體形成狹縫流，提高沉積效率，縮短了沉積周期，降低了生產(chǎn)成本，提高了裝爐量，提高了單爐產(chǎn)量、提高了成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域，特別涉及一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置。

背景技術(shù)

碳碳復(fù)合產(chǎn)品的生產(chǎn)是將碳纖維織物放置于專用的化學(xué)氣相沉積（ChemicalVapor Deposition，CVD）沉積爐內(nèi)，抽真空、加熱至所需溫度，然后向CVD沉積爐通入碳?xì)錃怏w，碳?xì)錃怏w在高溫下裂解后沉積在碳纖維織物上及孔隙內(nèi)，經(jīng)過反復(fù)沉積使碳纖維織物增密，并最終形成碳碳復(fù)合產(chǎn)品。沉積過程是碳碳復(fù)合產(chǎn)品生產(chǎn)中最為關(guān)鍵的工序，增密效果直接影響產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)成本，是技術(shù)人員需重點(diǎn)研究。

傳統(tǒng)的CVD沉積工藝要求比較簡(jiǎn)單，且應(yīng)用廣泛，但存在增密效果不高、沉積效率較低問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置，包括下封氣盤、限氣筒、引氣管及上封氣盤，其中，所述下封氣盤位于限氣筒的底部，上封氣盤位于限氣筒的頂部，上封氣盤的中心設(shè)有承孔，所述引氣管位于限氣筒內(nèi)部，所述引氣管頂部與上封氣盤中心的承孔間隙配合，所述引氣管上設(shè)置若干氣孔；若干碳纖維織物可堆疊于限氣筒內(nèi)部，與所述下封氣盤、限氣筒、引氣管及上封氣盤同軸。

采用上述技術(shù)方案，在裝置內(nèi)增加引氣管，使裝置內(nèi)形成固定的溫場(chǎng)和流場(chǎng)，使裝置內(nèi)各區(qū)域的碳?xì)錃怏w分布均勻，提高沉積均勻性。通過堆疊碳纖維織物，使碳源氣體在限氣筒中，在碳纖維編織物之間形成的縫隙中流動(dòng)，大大提高了裝爐量，提高了生產(chǎn)效率。

進(jìn)一步地，所述下封氣盤為圓盤狀，所述下封氣盤的邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔，中心設(shè)有一個(gè)通孔，與所述引氣管的底部間隙配合。

進(jìn)一步地，所述下封氣盤厚度大于100毫米mm,重量大于100千克kg。

采用上述技術(shù)方案，碳源氣體通過下封氣盤上的小孔和引氣管進(jìn)入限氣筒內(nèi)，下封氣盤的小孔進(jìn)氣量相同，使氣體形成均勻的狹縫流，提高沉積效率，下封氣盤厚度大于100mm,重量大于100kg使得整個(gè)制備裝置平穩(wěn)不易晃動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述限氣筒為圓筒狀，內(nèi)部中空，兩端開口直徑一致，所述限氣筒底端與所述下封氣盤間隙配合。

進(jìn)一步地，所述限氣筒的管壁厚度大于或等于8mm。

進(jìn)一步地，所述引氣管為管狀，所述若干氣孔均勻設(shè)置在所述引氣管上。

采用上述技術(shù)方案，引氣管上均勻分布的氣孔可將碳源氣體引至碳纖維編制物中間，起到給裝置內(nèi)補(bǔ)充新鮮碳源氣體作用，使碳纖維編織物沉積更加均勻。

進(jìn)一步地，所述引氣管厚度大于或等于7mm。

進(jìn)一步地，所述上封氣盤為圓盤狀，所述上封氣盤邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔。

進(jìn)一步地，所述碳纖維織物為筒狀，內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)為碗狀，頂部開口直徑小于底部開口直徑。

進(jìn)一步地，若干碳纖維織物堆疊形狀為頂部朝向上封氣盤放置。

采用上述技術(shù)方案，使堆疊碳纖維織物更加緊密，提高了裝爐量，并且形成統(tǒng)一的流場(chǎng)，提高碳源氣體的沉積效率。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：