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[實用新型]一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201822025473.3 申請日: 2018-12-04
公開(公告)號: CN209024639U 公開(公告)日: 2019-06-25
發(fā)明(設(shè)計)人: 李海成;周國平 申請(專利權(quán))人: 保山隆基硅材料有限公司
主分類號: C23C16/24 分類號: C23C16/24;C23C16/455;C23C16/54
代理公司: 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628 代理人: 李博
地址: 678014 云南*** 國省代碼: 云南;53
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 封氣盤 氣筒 引氣管 本實用新型 碳纖維織物 復(fù)合產(chǎn)品 承孔 碳碳 制備 沉積效率 間隙配合 氣體形成 成品率 狹縫流 裝爐量 單爐 堆疊 同軸 沉積 生產(chǎn)成本
【權(quán)利要求書】:

1.一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置,其特征在于,所述裝置包括下封氣盤(1)、限氣筒(2)、引氣管(3)及上封氣盤(4),其中,

所述下封氣盤(1)位于所述限氣筒(2)的底部,所述上封氣盤(4)位于所述限氣筒(2)的頂部,所述上封氣盤(4)的中心設(shè)有承孔(41),所述引氣管(3)位于所述限氣筒(2)內(nèi)部,所述引氣管(3)的頂部與所述上封氣盤(4)的承孔(41)間隙配合;所述引氣管(3)上設(shè)置若干氣孔;

若干碳纖維織物(5)可堆疊于所述限氣筒(2)內(nèi)部,與所述下封氣盤(1)、限氣筒(2)、引氣管(3)及上封氣盤(4)同軸。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述下封氣盤(1)為圓盤狀,所述下封氣盤(1)的邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔,中心設(shè)有一個通孔,與所述引氣管(3)的底部間隙配合。

3.如權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,所述下封氣盤(1)厚度大于100毫米mm,重量大于100千克kg。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述限氣筒(2)為圓筒狀,內(nèi)部中空,兩端開口直徑一致,所述限氣筒(2)的底端與所述下封氣盤(1)間隙配合。

5.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述限氣筒(2)的管壁厚度大于或等于8mm。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述引氣管(3)為管狀,所述若干氣孔均勻設(shè)置在所述引氣管(3)上。

7.如權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,所述引氣管(3)的管壁厚度大于或等于7mm。

8.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述上封氣盤(4)為圓盤狀,所述上封氣盤(4)邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔。

9.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述碳纖維織物(5)為筒狀,內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)為碗狀,頂部開口直徑小于底部開口直徑。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置,其特征在于,若干所述碳纖維織物(5)堆疊形狀為頂部朝向所述上封氣盤(4)放置。

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