[實用新型]一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822025473.3 | 申請日: | 2018-12-04 |
| 公開(公告)號: | CN209024639U | 公開(公告)日: | 2019-06-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李海成;周國平 | 申請(專利權(quán))人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/24 | 分類號: | C23C16/24;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司: | 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628 | 代理人: | 李博 |
| 地址: | 678014 云南*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 封氣盤 氣筒 引氣管 本實用新型 碳纖維織物 復(fù)合產(chǎn)品 承孔 碳碳 制備 沉積效率 間隙配合 氣體形成 成品率 狹縫流 裝爐量 單爐 堆疊 同軸 沉積 生產(chǎn)成本 | ||
1.一種制備碳碳復(fù)合產(chǎn)品的裝置,其特征在于,所述裝置包括下封氣盤(1)、限氣筒(2)、引氣管(3)及上封氣盤(4),其中,
所述下封氣盤(1)位于所述限氣筒(2)的底部,所述上封氣盤(4)位于所述限氣筒(2)的頂部,所述上封氣盤(4)的中心設(shè)有承孔(41),所述引氣管(3)位于所述限氣筒(2)內(nèi)部,所述引氣管(3)的頂部與所述上封氣盤(4)的承孔(41)間隙配合;所述引氣管(3)上設(shè)置若干氣孔;
若干碳纖維織物(5)可堆疊于所述限氣筒(2)內(nèi)部,與所述下封氣盤(1)、限氣筒(2)、引氣管(3)及上封氣盤(4)同軸。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述下封氣盤(1)為圓盤狀,所述下封氣盤(1)的邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔,中心設(shè)有一個通孔,與所述引氣管(3)的底部間隙配合。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,所述下封氣盤(1)厚度大于100毫米mm,重量大于100千克kg。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述限氣筒(2)為圓筒狀,內(nèi)部中空,兩端開口直徑一致,所述限氣筒(2)的底端與所述下封氣盤(1)間隙配合。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述限氣筒(2)的管壁厚度大于或等于8mm。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述引氣管(3)為管狀,所述若干氣孔均勻設(shè)置在所述引氣管(3)上。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,所述引氣管(3)的管壁厚度大于或等于7mm。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述上封氣盤(4)為圓盤狀,所述上封氣盤(4)邊緣設(shè)置有若干均勻分布的氣孔。
9.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述碳纖維織物(5)為筒狀,內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)為碗狀,頂部開口直徑小于底部開口直徑。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置,其特征在于,若干所述碳纖維織物(5)堆疊形狀為頂部朝向所述上封氣盤(4)放置。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





