[實用新型]傳送手臂及傳送系統有效
| 申請號： | 201822013721.2 | 申請日： | 2018-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN209029341U | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | 李天涯;周冬成;吳宗祐;林宗賢 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思捷知識產權代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 手臂 傳送 晶圓 限位體 支撐板 板體 超聲波發送裝置 超聲波接收裝置 超聲波元件 傳送系統 缺損 本實用新型 差異判斷 機械動作 實時信號 上表面 取片 凸起 偵測 嵌入 檢測 失敗 | ||
1.一種傳送手臂，其特征在于，所述傳送手臂包括：支撐板以及嵌入所述支撐板中的超聲波元件，所述超聲波元件包括超聲波發送裝置及超聲波接收裝置，所述支撐板包括限位體和板體，所述限位體凸起于所述板體，且所述限位體位于所述板體的上表面。
2.如權利要求1所述的傳送手臂，其特征在于，所述限位體與所述板體的側面相連。
3.如權利要求2所述的傳送手臂，其特征在于，所述超聲波元件的數量為多個，每個所述超聲波元件的一部分位于所述限位體中，每個所述超聲波元件的另一部分位于所述板體中。
4.如權利要求3所述的傳送手臂，其特征在于，所述限位體與所述板體的高度和為2.7mm-3.3mm。
5.如權利要求3所述的傳送手臂，其特征在于，所述限位體的形狀為圓弧式條形，多個所述超聲波元件沿所述限位體的延伸方向均勻分布在所述支撐板中。
6.如權利要求1所述的傳送手臂，其特征在于，所述傳送手臂還包括一連接部，所述連接部通過螺絲裝置與所述支撐板固定安裝。
7.如權利要求1所述的傳送手臂，其特征在于，所述傳送手臂的長度為240mm至370mm。
8.一種傳送系統，其特征在于，所述傳送系統包括：驅動器、基座以及如權利要求1-7中任一項所述的傳送手臂；
其中，所述基座具有一容置空間，所述傳送手臂固定于所述基座的外側面上，所述驅動器位于所述容置空間內，且所述驅動器與所述傳送手臂相連。
9.如權利要求8所述的傳送系統，其特征在于，所述傳送手臂的數量為多個，多個所述傳送手臂豎直均勻固定在所述基座的外側面上。
10.如權利要求9所述的傳送系統，其特征在于，所述基座呈長方體型。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
