[實用新型]蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201822007055.1
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN209456549U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 星野孝雄
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 鄧宗慶

本實用新型涉及蒸鍍裝置。該蒸鍍裝置具有：收容蒸鍍材料的蒸發源、以及載置所述蒸發源以使所述蒸發源在腔室內移動的蒸發源移動機構，其特征在于，在所述腔室內存在蒸鍍位置和維護位置，所述蒸鍍位置是向基板上形成蒸鍍膜的位置，僅在所述蒸發源移動機構位于所述維護位置時，能夠從所述蒸發源移動機構拉出所述蒸發源。根據本實用新型的如上所述的結構，能夠防止作業者在維護位置之外的其他位置處向外拉出蒸發源而導致基體板或操作手柄與腔室內的隔壁接觸而產生破損。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍裝置。

背景技術

用于在基板上形成蒸鍍膜的蒸鍍裝置具有蒸發源，該蒸發源設置于蒸鍍裝置的腔室內。通過利用加熱裝置對蒸發源所收容的蒸鍍材料進行加熱，使該蒸鍍材料蒸發或升華，從而在與蒸發源相向配置的基板上形成蒸鍍膜。當需要對蒸發源進行維護作業時，例如蒸發源所收容的蒸鍍材料用盡而需要補充新的蒸鍍材料，或更換為不同種類的蒸鍍材料來進行蒸鍍時，需要從收容蒸發源的腔室中拉出蒸發源。通常，在對蒸發源進行上述那樣的維護作業時，先將蒸發源移動至維護位置，再從蒸發源的維護位置起拉出蒸發源。上述操作通常由作業者通過手動來進行操作。然而，有時作業者并不知曉只能在維護位置處拉出蒸發源而在維護位置之外的其他位置處拉拽操作手柄以便將蒸發源拉出。或者，即便作業者知曉上述情況但在實際進行操作時有時誤在維護位置之外的其他位置處拉拽操作手柄以便將蒸發源拉出。若如上所述在維護位置之外的其他位置處向外拉出蒸發源，則有可能會導致載置并收納蒸發源的基體板或供作業者拉拽的上述操作手柄與腔室的隔壁接觸而產生破損。

實用新型內容

本實用新型是為了解決上述問題而作出的，其主要目的在于提供一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置能夠防止誤在維護位置之外的其他位置向外拉出蒸發源而導致載置并收納蒸發源的基體板或供作業者拉拽的上述操作手柄與腔室的隔壁接觸而產生破損。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案如下：

一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置具有：收容蒸鍍材料的蒸發源、以及載置所述蒸發源以使所述蒸發源在腔室內移動的蒸發源移動機構，其特征在于，

在所述腔室內存在蒸鍍位置和維護位置，所述蒸鍍位置是向基板上形成蒸鍍膜的位置，僅在所述蒸發源移動機構位于所述維護位置時，能夠從所述蒸發源移動機構拉出所述蒸發源。

優選地，在所述蒸發源移動機構設置有載置所述蒸發源并相對于構成蒸發源移動機構主體的基體板的上表面能夠滑動的滑動板，在所述基體板設置有為了使所述滑動板停留在所述蒸發源移動機構主體的所述基體板的上表面而對所述滑動板進行阻擋的阻擋機構。

優選地，在所述滑動板上設置有孔，在所述阻擋機構設置有銷，在對所述滑動板進行阻擋時，所述銷的前端的至少一部分處于所述孔內。

優選地，所述滑動板的所述孔的直徑比所述銷的最大直徑小且比所述銷的前端面的直徑大。

優選地，所述銷的前端呈越趨向前端面直徑越小的錐形。

優選地，在所述蒸發源移動機構位于所述蒸鍍位置時，所述銷的前端的至少一部分處于所述孔內。

優選地，在所述蒸發源移動機構位于所述維護位置時，所述銷相對于所述孔能夠出入，以便對所述滑動板進行阻擋或解除對所述滑動板進行阻擋。

優選地，通過作為驅動機構的氣缸或電動機的動作來進行所述銷相對于所述孔的出入。

優選地，在所述蒸發源移動機構從所述蒸鍍位置移動到了所述維護位置時，通過所述氣缸或電動機的動作，所述銷從所述孔中退出以便解除對所述滑動板進行阻擋。

優選地，在所述滑動板從所述腔室的外部被推回到了所述維護位置時，通過所述氣缸或電動機的動作，所述銷的前端的至少一部分進入所述孔內以便對所述滑動板進行阻擋。