[實用新型]蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201822007055.1
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN209456549U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 星野孝雄
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 鄧宗慶

1.一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置具有：收容蒸鍍材料的蒸發源、以及載置所述蒸發源以使所述蒸發源在腔室內移動的蒸發源移動機構，其特征在于，

在所述腔室內存在蒸鍍位置和維護位置，所述蒸鍍位置是向基板上形成蒸鍍膜的位置，僅在所述蒸發源移動機構位于所述維護位置時，能夠從所述蒸發源移動機構拉出所述蒸發源。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述蒸發源移動機構設置有載置所述蒸發源并相對于構成蒸發源移動機構主體的基體板的上表面能夠滑動的滑動板，

在所述基體板設置有為了使所述滑動板停留在所述蒸發源移動機構主體的所述基體板的上表面而對所述滑動板進行阻擋的阻擋機構。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述滑動板上設置有孔，在所述阻擋機構設置有銷，在對所述滑動板進行阻擋時，所述銷的前端的至少一部分處于所述孔內。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

所述滑動板的所述孔的直徑比所述銷的最大直徑小且比所述銷的前端面的直徑大。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

所述銷的前端呈越趨向前端面直徑越小的錐形。

6.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述蒸發源移動機構位于所述蒸鍍位置時，所述銷的前端的至少一部分處于所述孔內。

7.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述蒸發源移動機構位于所述維護位置時，所述銷相對于所述孔能夠出入，以便對所述滑動板進行阻擋或解除對所述滑動板進行阻擋。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

通過作為驅動機構的氣缸或電動機的動作來進行所述銷相對于所述孔的出入。

9.根據權利要求8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述蒸發源移動機構從所述蒸鍍位置移動到了所述維護位置時，通過所述氣缸或電動機的動作，所述銷從所述孔中退出以便解除對所述滑動板進行阻擋。

10.根據權利要求8或9所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述滑動板從所述腔室的外部被推回到了所述維護位置時，通過所述氣缸或電動機的動作，所述銷的前端的至少一部分進入所述孔內以便對所述滑動板進行阻擋。

11.根據權利要求8或9所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

所述蒸鍍裝置還具有對所述氣缸或電動機進行控制的控制部，

在所述蒸發源移動機構從所述蒸鍍位置移動到了所述維護位置時，通過所述控制部對所述氣缸或電動機進行的控制，自動進行所述銷相對于所述孔的退出；在所述滑動板從所述腔室的外部被推回到了所述維護位置時，通過所述控制部對所述氣缸或電動機進行的控制，自動進行所述銷相對于所述孔的進入。

12.根據權利要求11所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

所述蒸鍍裝置還具有對所述蒸發源是否移動到了所述維護位置進行檢測的傳感器，所述控制部基于所述傳感器的檢測結果，對所述氣缸或電動機進行控制，以使所述銷從所述孔中退出或進入所述孔中。

13.根據權利要求11所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

在進行了所述銷相對于所述孔的退出的情況下，所述控制部利用告知機構向作業者告知所述銷的阻擋已解除，在進行了所述銷相對于所述孔的進入的情況下，所述控制部利用告知機構向作業者告知所述銷處于阻擋狀態。

14.根據權利要求13所述的蒸鍍裝置，其特征在于，

所述告知機構為顯示面板、揚聲器或指示燈。